- 열 CVD 기술
경질 코팅은 대부분 금속 세라믹 코팅(TiN 등)으로, 코팅 내 금속의 반응과 반응성 가스화에 의해 형성됩니다. 초기에는 열 CVD 기술을 이용하여 1000℃의 고온에서 열에너지를 이용하여 결합 반응의 활성화 에너지를 제공했습니다. 이 온도는 초경 공구에 TiN 및 기타 경질 코팅을 증착하는 데만 적합합니다. 현재까지도 초경 공구 헤드에 TiN-Al2O3 복합 코팅을 증착하는 데 중요한 기술로 사용되고 있습니다.
- 중공 음극 이온 코팅 및 열선 아크 이온 코팅
1980년대에는 중공 음극 이온 코팅과 열선 아크 이온 코팅이 코팅된 절삭 공구의 증착에 사용되었습니다. 이 두 이온 코팅 기술은 모두 아크 방전 이온 코팅 기술로, 금속 이온화율이 최대 20%~40%에 달합니다.
- 음극 아크 이온 코팅
음극 아크 이온 케이팅의 등장으로 금형에 경질 코팅을 증착하는 기술이 개발되었습니다. 음극 아크 이온 코팅의 이온화율은 60%~90%로, 많은 양의 금속 이온과 반응 가스 이온이 높은 활성을 유지하며 공작물 표면에 도달하여 TiN과 같은 경질 코팅의 반응 증착 및 형성을 유도합니다. 현재 음극 아크 이온 코팅 기술은 주로 금형에 경질 코팅을 증착하는 데 사용됩니다.
음극 아크 소스는 고정된 용융 풀이 없는 고체 증발 소스이며, 아크 소스 위치를 임의로 배치할 수 있어 코팅실의 공간 활용도를 높이고 노의 적재 용량을 증가시킵니다. 음극 아크 소스의 형상에는 소형 원형 음극 아크 소스, 원주형 아크 소스, 그리고 직사각형 평면 대형 아크 소스가 있습니다. 소형 아크 소스, 원주형 아크 소스, 그리고 대형 아크 소스의 각 구성 요소를 개별적으로 배치하여 다층막 및 나노 다층막을 증착할 수 있습니다. 한편, 음극 아크 이온 코팅의 높은 금속 이온화율로 인해 금속 이온이 더 많은 반응 가스를 흡수할 수 있어 공정 범위가 넓고 조작이 간편하여 우수한 경질 코팅을 얻을 수 있습니다. 그러나 음극 아크 이온 코팅으로 얻은 코팅층의 미세 구조에는 거친 입자가 존재합니다. 최근 몇 년 동안 필름층의 구조를 미세화하기 위한 많은 신기술이 등장하여 아크 이온 코팅막의 품질이 향상되었습니다.
게시 시간: 2023년 7월 20일