ಬಾಷ್ಪೀಕರಣ ಲೇಪನದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರದ ನ್ಯೂಕ್ಲಿಯೇಶನ್ ಮತ್ತು ಬೆಳವಣಿಗೆ ವಿವಿಧ ಅಯಾನು ಲೇಪನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಆಧಾರವಾಗಿದೆ.
1. ಬೀಜೀಕರಣ
Inನಿರ್ವಾತ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ ಲೇಪನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ, ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರದ ಕಣಗಳು ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯ ಮೂಲದಿಂದ ಪರಮಾಣುಗಳ ರೂಪದಲ್ಲಿ ಆವಿಯಾದ ನಂತರ, ಅವು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತದಲ್ಲಿ ನೇರವಾಗಿ ವರ್ಕ್ಪೀಸ್ಗೆ ಹಾರುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ವರ್ಕ್ಪೀಸ್ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ನ್ಯೂಕ್ಲಿಯೇಶನ್ ಮತ್ತು ಬೆಳವಣಿಗೆಯಿಂದ ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರವನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತವೆ. ನಿರ್ವಾತ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯ ಮೂಲದಿಂದ ತಪ್ಪಿಸಿಕೊಳ್ಳುವ ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರದ ಪರಮಾಣುಗಳ ಶಕ್ತಿಯು ಸುಮಾರು 0.2eV ಆಗಿರುತ್ತದೆ. ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರದ ಕಣಗಳ ನಡುವಿನ ಒಗ್ಗಟ್ಟು ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರದ ಪರಮಾಣುಗಳು ಮತ್ತು ವರ್ಕ್ಪೀಸ್ನ ಪರಮಾಣುಗಳ ನಡುವಿನ ಬಂಧದ ಬಲಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಾದಾಗ, ದ್ವೀಪ ನ್ಯೂಕ್ಲಿಯಸ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ. ಒಂದೇ ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರದ ಪರಮಾಣು ವರ್ಕ್ಪೀಸ್ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸಮಯದವರೆಗೆ ಇರುತ್ತದೆ, ಅನಿಯಮಿತ ಚಲನೆ, ಪ್ರಸರಣ, ವಲಸೆ ಅಥವಾ ಇತರ ಪರಮಾಣುಗಳೊಂದಿಗೆ ಘರ್ಷಣೆಯನ್ನು ಮಾಡುತ್ತದೆ ಪರಮಾಣು ಸಮೂಹಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ. ಪರಮಾಣು ಸಮೂಹದಲ್ಲಿನ ಪರಮಾಣುಗಳ ಸಂಖ್ಯೆ ಒಂದು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಮೌಲ್ಯವನ್ನು ತಲುಪುತ್ತದೆ, ಸ್ಥಿರವಾದ ನ್ಯೂಕ್ಲಿಯಸ್ ರೂಪುಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ಇದನ್ನು ಏಕರೂಪದ ಆಕಾರದ ನ್ಯೂಕ್ಲಿಯಸ್ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.
ನಯವಾದ, ಮತ್ತು ಅನೇಕ ದೋಷಗಳು ಮತ್ತು ಹಂತಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ವರ್ಕ್ಪೀಸ್ನ ವಿವಿಧ ಭಾಗಗಳ ವಿಕಿರಣಶೀಲ ಪರಮಾಣುಗಳ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ ಬಲದಲ್ಲಿ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ. ದೋಷದ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ ಶಕ್ತಿಯು ಸಾಮಾನ್ಯ ಮೇಲ್ಮೈಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಇದು ಸಕ್ರಿಯ ಕೇಂದ್ರವಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಆದ್ಯತೆಯ ನ್ಯೂಕ್ಲಿಯೇಶನ್ಗೆ ಅನುಕೂಲಕರವಾಗಿದೆ, ಇದನ್ನು ವೈವಿಧ್ಯಮಯ ನ್ಯೂಕ್ಲಿಯೇಶನ್ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ. ಒಗ್ಗೂಡಿಸುವ ಬಲವು ಬಂಧಿಸುವ ಬಲಕ್ಕೆ ಸಮನಾಗಿದ್ದರೆ ಅಥವಾ ಪೊರೆಯ ಪರಮಾಣುಗಳು ಮತ್ತು ವರ್ಕ್ಪೀಸ್ ನಡುವಿನ ಬಂಧಿಸುವ ಬಲವು ಪೊರೆಯ ಪರಮಾಣುಗಳ ನಡುವಿನ ಒಗ್ಗೂಡಿಸುವ ಬಲಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಾದಾಗ, ಲ್ಯಾಮೆಲ್ಲರ್ ರಚನೆಯು ರೂಪುಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಅಯಾನು ಲೇಪನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದಲ್ಲಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಂದರ್ಭಗಳಲ್ಲಿ ದ್ವೀಪದ ಕೋರ್ ರೂಪುಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
2. ಬೆಳವಣಿಗೆ
ಫಿಲ್ಮ್ನ ಮಧ್ಯಭಾಗವು ರೂಪುಗೊಂಡ ನಂತರ, ಅದು ಘಟನೆಯ ಪರಮಾಣುಗಳನ್ನು ಬಲೆಗೆ ಬೀಳಿಸುವ ಮೂಲಕ ಬೆಳೆಯುತ್ತಲೇ ಇರುತ್ತದೆ. ದ್ವೀಪಗಳು ಬೆಳೆದು ಪರಸ್ಪರ ಸೇರಿಕೊಂಡು ದೊಡ್ಡ ಅರ್ಧಗೋಳಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತವೆ, ಕ್ರಮೇಣ ವರ್ಕ್ಪೀಸ್ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಹರಡುವ ಅರ್ಧಗೋಳದ ದ್ವೀಪ ಪದರವನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತವೆ.
ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರದ ಪರಮಾಣು ಶಕ್ತಿಯು ಅಧಿಕವಾಗಿದ್ದಾಗ, ಅದು ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸಾಕಷ್ಟು ಹರಡಬಹುದು ಮತ್ತು ನಂತರದ ಒಳಬರುವ ಪರಮಾಣು ಸಮೂಹಗಳು ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದ್ದಾಗ ನಯವಾದ ನಿರಂತರ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ರಚಿಸಬಹುದು. ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಪರಮಾಣುಗಳ ಪ್ರಸರಣ ದುರ್ಬಲವಾಗಿದ್ದರೆ ಮತ್ತು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಿದ ಸಮೂಹಗಳ ಗಾತ್ರವು ದೊಡ್ಡದಾಗಿದ್ದರೆ, ಅವು ದೊಡ್ಡ ಪರ್ಯಾಯ ದ್ವೀಪ ನ್ಯೂಕ್ಲಿಯಸ್ಗಳಾಗಿ ಅಸ್ತಿತ್ವದಲ್ಲಿರುತ್ತವೆ. ದ್ವೀಪದ ಕೋರ್ನ ಮೇಲ್ಭಾಗವು ಕಾನ್ಕೇವ್ ಭಾಗದ ಮೇಲೆ ಬಲವಾದ ಛಾಯೆ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ, ಅದು "ನೆರಳು ಪರಿಣಾಮ". ಮೇಲ್ಮೈಯ ಪ್ರಕ್ಷೇಪಣವು ನಂತರದ ಠೇವಣಿ ಪರಮಾಣುಗಳನ್ನು ಸೆರೆಹಿಡಿಯಲು ಮತ್ತು ಆದ್ಯತೆಯ ಬೆಳವಣಿಗೆಗೆ ಹೆಚ್ಚು ಅನುಕೂಲಕರವಾಗಿದೆ, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಕಾನ್ಕೇವಿಟಿ ಹೆಚ್ಚುತ್ತಿದೆ ಮತ್ತು ಸಾಕಷ್ಟು ಗಾತ್ರದ ಶಂಕುವಿನಾಕಾರದ ಅಥವಾ ಸ್ತಂಭಾಕಾರದ ಹರಳುಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ. ಶಂಕುವಿನಾಕಾರದ ಹರಳುಗಳ ನಡುವೆ ನುಗ್ಗುವ ಶೂನ್ಯಗಳು ರೂಪುಗೊಳ್ಳುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನದ ಮೌಲ್ಯವು ಹೆಚ್ಚಾಗುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತದಲ್ಲಿ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಅಂಗಾಂಶವನ್ನು ಪಡೆಯಬಹುದು, ನಿರ್ವಾತ ಪದವಿ ಕಡಿಮೆಯಾಗುವುದರೊಂದಿಗೆ, ಪೊರೆಯ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ರಚನೆಯು ದಪ್ಪವಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ದಪ್ಪವಾಗುತ್ತದೆ.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಮೇ-24-2023