ច្បាប់នៃការលូតលាស់នៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តថ្នាំកូតដែលហួតដោយខ្វះចន្លោះ

កំឡុងពេលថ្នាំកូតរំហួត ការបំបែកស្នូល និងការរីកលូតលាស់នៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត គឺជាមូលដ្ឋាននៃបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងផ្សេងៗ

1. នុយក្លេអ៊ែរ

Inបច្ចេកវិទ្យានៃការស្រោបដោយចំហាយទឹក។បន្ទាប់ពីភាគល្អិតនៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តត្រូវបានហួតចេញពីប្រភពហួតក្នុងទម្រង់ជាអាតូម ពួកវាហោះហើរដោយផ្ទាល់ទៅកាន់កន្លែងធ្វើការក្នុងកន្លែងទំនេរខ្ពស់ ហើយបង្កើតជាស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តដោយការ nucleation និងការលូតលាស់លើផ្ទៃនៃ workpiece។ កំឡុងពេលហួតសុញ្ញកាស ថាមពលនៃអាតូមស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តដែលគេចចេញពីប្រភពហួតគឺប្រហែល 0.2eV។ នៅពេលដែលភាពស្អិតរមួតរវាងភាគល្អិតនៃស្រទាប់ហ្វីលគឺធំជាងកម្លាំងភ្ជាប់រវាងអាតូមនៃស្រទាប់ហ្វីល និងបំណែកការងារ បង្កើតជាស្នូលកោះ។ អាតូមស្រទាប់ហ្វីលតែមួយស្ថិតនៅលើផ្ទៃនៃ workpiece សម្រាប់កំឡុងពេលធ្វើចលនាមិនទៀងទាត់ ការសាយភាយ ការធ្វើចំណាកស្រុក ឬការប៉ះទង្គិចជាមួយអាតូមផ្សេងទៀតដើម្បីបង្កើតជាចង្កោមអាតូម ចំនួនអាតូមនៅក្នុងចង្កោមអាតូមឈានដល់តម្លៃសំខាន់ជាក់លាក់ ស្នូលមានស្ថេរភាពត្រូវបានបង្កើតឡើង ហៅថាស្នូលដែលមានរាងដូចគ្នា។

រលោង និងមានពិការភាព និងជំហានជាច្រើន ដែលបណ្តាលឱ្យមានភាពខុសគ្នានៃកម្លាំង adsorption នៃផ្នែកផ្សេងៗនៃ workpiece ទៅអាតូមវិទ្យុសកម្ម។ ថាមពល adsorption នៃផ្ទៃនៃពិការភាពគឺធំជាងផ្ទៃធម្មតា ដូច្នេះវាក្លាយជាចំណុចកណ្តាលសកម្ម ដែលអំណោយផលដល់ nucleation អនុគ្រោះ ដែលហៅថា nucleation heterogeneous។ នៅពេលដែលកម្លាំងស្អិតរមួតស្មើនឹងកម្លាំងចង ឬកម្លាំងភ្ជាប់រវាងអាតូមភ្នាស និងផ្នែកការងារគឺធំជាងកម្លាំងស្អិតរមួតរវាងអាតូមភ្នាស រចនាសម្ព័ន្ធ lamellar ត្រូវបានបង្កើតឡើង។ នៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យា ion plating ស្នូលកោះត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅក្នុងករណីភាគច្រើន។

2. កំណើន

នៅពេលដែលស្នូលនៃខ្សែភាពយន្តត្រូវបានបង្កើតឡើង វាបន្តរីកចម្រើនដោយការចាប់អាតូមឧបទ្ទវហេតុ។ កោះទាំងនោះលូតលាស់ និងបញ្ចូលគ្នាជាមួយគ្នាដើម្បីបង្កើតជាអឌ្ឍគោលធំជាងមុន បង្កើតជាស្រទាប់កោះអឌ្ឍគោលដែលលាតសន្ធឹងលើផ្ទៃនៃស្នាដៃ។

នៅពេលដែលថាមពលអាតូមិកនៃស្រទាប់ហ្វីលឡើងខ្ពស់ វាអាចសាយភាយបានគ្រប់គ្រាន់លើផ្ទៃ ហើយខ្សែភាពយន្តបន្តរលូនអាចបង្កើតបាននៅពេលដែលចង្កោមអាតូមដែលចូលមកជាបន្តបន្ទាប់គឺតូច។ ប្រសិនបើការសាយភាយនៃអាតូមលើផ្ទៃគឺខ្សោយ ហើយទំហំនៃចង្កោមដែលដាក់ទុកគឺធំ ពួកវាមានដូចជាស្នូលឧបទ្វីបធំ។ ផ្នែកខាងលើនៃកោះ shading core មានឥទ្ធិពល។ ផលប៉ះពាល់ ".ការព្យាករលើផ្ទៃគឺអំណោយផលជាងក្នុងការចាប់យកអាតូមដែលបានដាក់ជាបន្តបន្ទាប់ និងកំណើនអនុគ្រោះ ដែលបណ្តាលឱ្យមានការកើនឡើងកម្រិតនៃភាពជាប់នៅលើផ្ទៃដើម្បីបង្កើតជាគ្រីស្តាល់រាងសាជី ឬជួរឈរដែលមានទំហំគ្រប់គ្រាន់។ ចន្លោះប្រហោងដែលជ្រៀតចូលត្រូវបានបង្កើតឡើងរវាងគ្រីស្តាល់រាងសាជី និងតម្លៃនៃភាពរដុបលើផ្ទៃកើនឡើង។ ជាលិកាល្អអាចទទួលបាននៅកម្រិតទំនេរខ្ពស់ ជាមួយនឹងការថយចុះនៃកម្រិតខ្វះចន្លោះ មីក្រូរចនាសម្ព័ន្ធនៃភ្នាសកាន់តែក្រាស់ និងក្រាស់។