ការបញ្ចេញចំហាយគីមី (CVD) ។ ដូចដែលឈ្មោះបង្កប់ន័យ វាគឺជាបច្ចេកទេសដែលប្រើប្រាស់សារធាតុប្រតិកម្មឧស្ម័នមុនគេ ដើម្បីបង្កើតខ្សែភាពយន្តរឹងដោយមធ្យោបាយនៃប្រតិកម្មគីមីអាតូម និងអន្តរម៉ូលេគុល។ មិនដូច PVD ទេ ដំណើរការ CVD ភាគច្រើនត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងបរិយាកាសសម្ពាធខ្ពស់ (កន្លែងទំនេរទាប) ដោយសម្ពាធខ្ពស់ត្រូវបានប្រើជាចម្បងដើម្បីបង្កើនអត្រានៃការដាក់ខ្សែភាពយន្ត។ ការបញ្ចេញចំហាយគីមីអាចត្រូវបានចាត់ថ្នាក់ទៅជា CVD ទូទៅ (ត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជា CVD កម្ដៅ) និងការបំភាយចំហាយគីមីដែលបង្កើនប្លាស្មា (ប្លាស្មា - ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវជាតិចំហាយគីមី។ PECVD) យោងទៅតាមថាតើប្លាស្មាមានជាប់ពាក់ព័ន្ធក្នុងដំណើរការបន្សល់ទុកដែរឬទេ។ ផ្នែកនេះផ្តោតលើបច្ចេកវិទ្យា PECVD រួមទាំងដំណើរការ PECVD និងឧបករណ៍ PECVD ដែលប្រើជាទូទៅ និងគោលការណ៍ការងារ។
ការបញ្ចេញចំហាយគីមីដែលពង្រឹងប្លាស្មា គឺជាបច្ចេកទេសនៃការបំភាយចំហាយគីមីនៃខ្សែភាពយន្តស្តើង ដែលប្រើប្រាស់ការបញ្ចេញពន្លឺនៃប្លាស្មា ដើម្បីជះឥទ្ធិពលលើដំណើរការបន្សល់ទុក ខណៈដែលដំណើរការបញ្ចេញចំហាយគីមីដែលមានសម្ពាធទាបកំពុងប្រព្រឹត្តទៅ។ ក្នុងន័យនេះ បច្ចេកវិទ្យា CVD ធម្មតាពឹងផ្អែកលើសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមខ្ពស់ ដើម្បីដឹងពីប្រតិកម្មគីមីរវាងសារធាតុដំណាក់កាលឧស្ម័ន និងការទម្លាក់នៃខ្សែភាពយន្តស្តើង ហើយដូច្នេះអាចត្រូវបានគេហៅថាបច្ចេកវិទ្យា CVD កម្ដៅ។
នៅក្នុងឧបករណ៍ PECVD សម្ពាធឧស្ម័នដំណើរការគឺប្រហែល 5 ~ 500 Pa ហើយដង់ស៊ីតេនៃអេឡិចត្រុងនិងអ៊ីយ៉ុងអាចឡើងដល់ 109 ~ 1012 / cm3 ខណៈពេលដែលថាមពលជាមធ្យមរបស់អេឡិចត្រុងអាចឡើងដល់ 1 ~ 10 eV ។ អ្វីដែលខុសប្លែកពីវិធីសាស្ត្រ PECVD ពីវិធីសាស្ត្រ CVD ផ្សេងទៀតគឺថាប្លាស្មាមានផ្ទុកអេឡិចត្រុងថាមពលខ្ពស់មួយចំនួនធំ ដែលអាចផ្តល់ថាមពលសកម្មដែលត្រូវការសម្រាប់ដំណើរការបញ្ចេញចំហាយគីមី។ ការប៉ះទង្គិចគ្នានៃអេឡិចត្រុង និងម៉ូលេគុលដំណាក់កាលឧស្ម័នអាចជំរុញដំណើរការ decomposition, chemosynthesis, excitation and ionization processes of gas molecules, បង្កើតក្រុមគីមីដែលមានប្រតិកម្មខ្ពស់ ដូច្នេះកាត់បន្ថយជួរសីតុណ្ហភាពនៃស្រទាប់ស្តើង CVD យ៉ាងសំខាន់ ដែលធ្វើឱ្យវាអាចដឹងពីដំណើរការ CVD ដែលដើមឡើយតម្រូវឱ្យអនុវត្តនៅសីតុណ្ហភាពទាប។ អត្ថប្រយោជន៍នៃស្រទាប់ស្តើងនៃខ្សែភាពយន្តសីតុណ្ហភាពទាបគឺថាវាអាចជៀសវាងការសាយភាយដែលមិនចាំបាច់ និងប្រតិកម្មគីមីរវាងខ្សែភាពយន្ត និងស្រទាប់ខាងក្រោម ការផ្លាស់ប្តូររចនាសម្ព័ន្ធ និងការខ្សោះជីវជាតិនៃខ្សែភាពយន្ត ឬសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម និងភាពតានតឹងកម្ដៅដ៏ធំនៅក្នុងខ្សែភាពយន្ត និងស្រទាប់ខាងក្រោម។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ
ពេលវេលាផ្សាយ៖ មេសា-១៨-២០២៤