როდესაც მემბრანული ატომების დეპონირება იწყება, იონური დაბომბვა მემბრანა/სუბსტრატის ინტერფეისზე შემდეგ ეფექტებს ახდენს.
(1) ფიზიკური შერევა. მაღალი ენერგიის იონების ინექციის, დალექილი ატომების გაფრქვევის და ზედაპირული ატომების უკუშეყვანის და კასკადური შეჯახების ფენომენის გამო, სუბსტრატის ელემენტებისა და არადიფუზიური შერევის მემბრანული ელემენტების მემბრანა/ფუძის ინტერფეისის ზედაპირთან ახლოს მდებარე ფართობის შემცირებას გამოიწვევს, ეს შერევის ეფექტი ხელს შეუწყობს მემბრანა/ფუძის ინტერფეისის „ფსევდოდიფუზიური ფენის“ წარმოქმნას, ანუ მემბრანა/ფუძის ინტერფეისს შორის გარდამავალ ფენას, რომლის სისქე რამდენიმე მიკრონამდეა. რამდენიმე მიკრომეტრის სისქე, რომელშიც შესაძლოა ახალი ფაზებიც კი გაჩნდეს. ეს ძალიან ხელსაყრელია მემბრანა/ფუძის ინტერფეისის ადჰეზიის სიმტკიცის გასაუმჯობესებლად.
(2) გაძლიერებული დიფუზია. ზედაპირთან ახლოს მდებარე რეგიონში დეფექტის მაღალი კონცენტრაცია და მაღალი ტემპერატურა ზრდის დიფუზიის სიჩქარეს. რადგან ზედაპირი წერტილოვანი დეფექტია, მცირე იონებს აქვთ ზედაპირის გადახრის ტენდენცია, ხოლო იონური დაბომბვა კიდევ უფრო აძლიერებს ზედაპირის გადახრას და აძლიერებს დალექილი და სუბსტრატის ატომების ურთიერთდიფუზიას.
(3) გაუმჯობესებული ნუკლეაციის რეჟიმი. სუბსტრატის ზედაპირზე კონდენსირებული ატომის თვისებები განისაზღვრება მისი ზედაპირული ურთიერთქმედებით და ზედაპირზე მიგრაციის თვისებებით. თუ კონდენსირებულ ატომსა და სუბსტრატის ზედაპირს შორის ძლიერი ურთიერთქმედება არ არის, ატომი ზედაპირზე დიფუზირდება მანამ, სანამ მაღალი ენერგიის პოზიციაზე არ გაბატონდება ან სხვა დიფუზიურ ატომებს არ შეეჯახება. ნუკლეაციის ამ რეჟიმს არარეაქტიული ნუკლეაცია ეწოდება. მაშინაც კი, თუ ორიგინალი არარეაქტიული ნუკლეაციის რეჟიმის შემთხვევას მიეკუთვნება, სუბსტრატის ზედაპირის იონური დაბომბვით შეიძლება მეტი დეფექტი წარმოიქმნას, რაც ზრდის ნუკლეაციის სიმკვრივეს, რაც უფრო მეტად უწყობს ხელს დიფუზიის - რეაქტიული ნუკლეაციის რეჟიმის - ფორმირებას.
(4) ფხვიერად შეკავშირებული ატომების პრეფერენციული მოცილება. ზედაპირული ატომების გაფრქვევა განისაზღვრება ლოკალური შეკავშირების მდგომარეობით და ზედაპირის იონური დაბომბვა უფრო მეტად იწვევს ფხვიერად შეკავშირებული ატომების გაფრქვევას. ეს ეფექტი უფრო გამოხატულია დიფუზიურ-რეაქტიული ინტერფეისების წარმოქმნისას.
(5) ზედაპირის დაფარვის გაუმჯობესება და მოპირკეთების შემოვლითი გზის გაძლიერება. იონური მოპირკეთების მაღალი სამუშაო გაზის წნევის გამო, აორთქლებული ან გაფრქვეული ატომები ეჯახებიან გაზის ატომებს გაფანტვის გასაძლიერებლად, რაც იწვევს საფარის კარგ შემოხვევის თვისებებს.
- ეს სტატია გამოქვეყნებულიავაკუუმური საფარის მანქანის მწარმოებელიგუანგდონგ ჟენხუა
გამოქვეყნების დრო: დეკემბერი-09-2023