Nalika deposisi atom membran wiwit, bombardment ion duweni efek ing antarmuka membran / substrat.
(1) Campuran fisik. Amarga injeksi ion dhuwur-energi, sputtering saka atom setor lan injeksi recoil saka atom lumahing lan kedadean tabrakan cascade, bakal nimbulaké area cedhak-lumahing saka antarmuka membran / basa saka unsur landasan lan unsur membran saka non-difusi nyawiji, efek nyawiji iki bakal kondusif kanggo tatanan saka membran / basa antarmuka "pseudo-dif", antarmuka lapisan kanggo antarmuka "pseudo-dif". micron kekandelan. Kandel sawetara mikrometer, ing ngendi fase anyar bisa uga katon. Iki banget sarujuk kanggo nambah kekuatan adhesion saka antarmuka membran / basa.
(2) Difusi ditingkatake. Konsentrasi cacat sing dhuwur ing wilayah cedhak permukaan lan suhu dhuwur nambah tingkat difusi. Wiwit lumahing minangka cacat titik, ion-ion cilik cenderung nyimpangake permukaan, lan bombardment ion duweni efek luwih ningkatake defleksi permukaan lan ningkatake difusi bebarengan saka atom setor lan substrat.
(3) Mode nukleasi sing luwih apik. Sifat-sifat atom sing dikondensasi ing permukaan substrat ditemtokake dening interaksi permukaan lan sifat migrasi ing permukaan. Yen ora ana interaksi sing kuat antarane atom sing dikondensasi lan permukaan substrat, atom kasebut bakal nyebar ing permukaan nganti nukleasi ing posisi energi dhuwur utawa tabrakan karo atom liyane sing nyebar. Mode nukleasi iki diarani nukleasi non-reaktif. Sanajan asline kalebu kasus mode nukleasi non-reaktif, kanthi bombardment ion saka permukaan substrat bisa ngasilake luwih akeh cacat, nambah kapadhetan nukleasi, sing luwih kondusif kanggo pambentukan difusi - mode nukleasi reaktif.
(4) Penghapusan preferensi saka atom-atom sing kaiket. Ing sputtering saka atom lumahing ditemtokake dening negara iketan lokal, lan ion bombardment saka lumahing luwih kamungkinan sputter metu atom longgar kaiket. Efek iki luwih jelas ing pambentukan antarmuka difusi-reaktif.
(5) Ngapikake jangkoan lumahing lan nambah bypass plating. Amarga tekanan gas kerja sing dhuwur saka plating ion, atom sing nguap utawa sputtered kena tabrakan karo atom gas kanggo nambah panyebaran, nyebabake sifat bungkus lapisan sing apik.
– Artikel iki dirilis deningpabrikan mesin lapisan vakumGuangdong Zhenhua
Wektu kirim: Dec-09-2023