TiN は切削工具に使用される最も初期の硬質皮膜であり、高強度、高硬度、耐摩耗性などの利点があります。これは、最初に工業化され広く使用されているハードコーティング材料であり、コーティングされた工具やコーティングされた金型に広く使用されています。TiN 硬質コーティングは、最初に熱 CVD 技術により 1000 ℃ で堆積されました。現在では、陰極アークイオンコーティング、マグネトロンスパッタリングコーティング、ホローカソードイオンコーティング、熱線アークイオンコーティング、PECVDなどの技術によって500℃で得ることができます。このコーティングは、表面硬化金属材料の加工やハイス成形工具や金型の製造に長年使用されています。500℃でTiNを蒸着することは、イオンコーティング技術を使用したコーティングされた切削工具の蒸着の先駆けとなりました。ハイエンド加工産業の開発ニーズを満たすために、これに基づいてさまざまな成分を含むさまざまな硬質皮膜が開発されています。窒化物と炭化物をベースとした二元、三元、および四元の普通硬度の硬質皮膜は、TiN をベースに開発されています。 、これらの硬質コーティングをベースにした超硬ナノコーティング、および超高硬度の真性超硬コーティング。
ハードコーティングの主な性能指標は硬度です。ハードコートは皮膜の硬さにより、下表に示すように通常ハードコート、超硬ナノコート、真性超硬・超硬コートの3種類に分類されます。
– この記事は広東振華社によって発表されました。ハードコート装置のメーカー.
投稿時間: 2023 年 6 月 7 日