TiN аввалин рӯйпӯши сахтест, ки дар асбобҳои буриш истифода мешавад ва дорои бартариҳои он ба монанди мустаҳкамии баланд, сахтии баланд ва муқовимати фарсудашавӣ мебошад. Ин аввалин маводи рӯйпӯши сахти саноатӣ ва васеъ истифодашаванда аст, ки ба таври васеъ дар асбобҳои рӯйпӯшшуда ва қолабҳои рӯйпӯшшуда истифода мешавад. Рӯйпӯши сахти TiN аввал дар ҳарорати 1000 ℃ бо технологияи гармии CVD гузошта шуда буд. Ҳоло онро дар ҳарорати 500 ℃ бо рӯйпӯши ионии камони катодӣ, рӯйпӯши пошидани магнетронӣ, рӯйпӯши ионии катоди холӣ, рӯйпӯши ионии камони сими гарм, PECVD ва дигар технологияҳо ба даст овардан мумкин аст. Ин рӯйпӯш муддати тӯлонӣ дар коркарди маводи металлии сахткунандаи сатҳ ва истеҳсоли қолабҳои асбобҳо ва қолабҳои шаклдиҳии пӯлоди баландсуръат истифода мешуд. Рӯйпӯши TiN дар ҳарорати 500 ℃ бо рӯйпӯши асбобҳои буриши рӯйпӯшшуда бо истифода аз технологияи рӯйпӯши ионӣ пешсаф буд. Дар ин замина, барои қонеъ кардани ниёзҳои рушди саноати коркарди баландсифат, як қатор рӯйпӯшҳои сахт бо ҷузъҳои гуногун таҳия шудаанд: рӯйпӯшҳои сахт бо сахтии оддии дуӣ, сеӣ ва чорӣ дар асоси нитридҳо ва карбидҳо дар асоси TiN, инчунин рӯйпӯшҳои наносахт дар асоси ин рӯйпӯшҳои сахт, инчунин рӯйпӯшҳои суперсахт бо сахтии ултрабаланд таҳия шудаанд.
Нишондиҳандаи асосии самаранокии рӯйпӯшҳои сахт сахтӣ аст. Мувофиқи сахтии рӯйпӯш, рӯйпӯшҳои сахтро ба се намуд тақсим кардан мумкин аст: рӯйпӯшҳои оддии сахт, рӯйпӯшҳои наносахт ва рӯйпӯшҳои дорои сахтии дохилӣ/хеле сахт, чунон ки дар ҷадвали зер нишон дода шудааст.
– Ин мақола аз ҷониби Гуандун Чжэнхуа нашр шудааст,истеҳсолкунандаи мошинҳои рӯйпӯшкунии сахт.
Вақти нашр: 07 июни соли 2023