TiN ເປັນສານເຄືອບແຂງຊະນິດທຳອິດທີ່ໃຊ້ໃນເຄື່ອງມືຕັດ, ມີຂໍ້ດີເຊັ່ນ: ຄວາມແຂງແຮງສູງ, ຄວາມແຂງສູງ, ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່. ມັນເປັນວັດສະດຸເຄືອບແຂງຊະນິດທຳອິດທີ່ອຸດສາຫະກຳ ແລະ ນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງ, ນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນເຄື່ອງມືເຄືອບ ແລະ ແມ່ພິມເຄືອບ. ສານເຄືອບແຂງ TiN ໄດ້ຖືກຝາກໄວ້ໃນເບື້ອງຕົ້ນທີ່ 1000 ℃ ໂດຍເທັກໂນໂລຢີ CVD ຄວາມຮ້ອນ. ປະຈຸບັນມັນສາມາດໄດ້ຮັບທີ່ 500 ℃ ໂດຍການເຄືອບໄອອອນກາໂຕດ, ການເຄືອບສະເປຣດແມກນີຕຣອນ, ການເຄືອບໄອອອນແຄໂທດຮູ, ການເຄືອບໄອອອນສາຍຮ້ອນ, PECVD ແລະ ເທັກໂນໂລຢີອື່ນໆ. ສານເຄືອບນີ້ໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ເປັນເວລາດົນນານໃນການປຸງແຕ່ງວັດສະດຸໂລຫະທີ່ແຂງຕົວ ແລະ ການຜະລິດແມ່ພິມຂອງເຄື່ອງມື ແລະ ແມ່ພິມເຫຼັກກ້າຄວາມໄວສູງ. ການຝາກ TiN ທີ່ 500 ℃ ໄດ້ບຸກເບີກການຝາກຂອງເຄື່ອງມືຕັດເຄືອບໂດຍໃຊ້ເທັກໂນໂລຢີການເຄືອບໄອອອນ. ມີການພັດທະນການເຄືອບແຂງຫຼາກຫຼາຍຊະນິດທີ່ມີອົງປະກອບຕ່າງໆເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຂອງການພັດທະນາອຸດສາຫະກຳປຸງແຕ່ງລະດັບສູງ: ການເຄືອບແຂງທີ່ມີຄວາມແຂງແບບຄູ່, ສາມຊັ້ນ, ແລະ ຄວາເຕີນາຣີໂດຍອີງໃສ່ໄນໄຕຣດ ແລະ ຄາໄບຣ໌ໄດ້ຖືກພັດທະນາຂຶ້ນໂດຍອີງໃສ່ TiN, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບການເຄືອບນາໂນແຂງພິເສດໂດຍອີງໃສ່ການເຄືອບແຂງເຫຼົ່ານີ້, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບການເຄືອບແຂງພິເສດພາຍໃນທີ່ມີຄວາມແຂງສູງພິເສດ.
ຕົວຊີ້ວັດປະສິດທິພາບຫຼັກຂອງການເຄືອບແຂງແມ່ນຄວາມແຂງ. ອີງຕາມຄວາມແຂງຂອງເຄືອບ, ການເຄືອບແຂງສາມາດແບ່ງອອກເປັນສາມປະເພດຄື: ການເຄືອບແຂງທຳມະດາ, ການເຄືອບນາໂນແຂງພິເສດ, ແລະ ການເຄືອບແຂງພິເສດພາຍໃນ/ແຂງທີ່ສຸດ, ດັ່ງທີ່ສະແດງຢູ່ໃນຕາຕະລາງຕໍ່ໄປນີ້.
– ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍ Guangdong Zhenhua,ຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງຈັກເຄືອບແຂງ.
ເວລາໂພສ: ມິຖຸນາ-07-2023