TiN нь зүсэх хэрэгсэлд хэрэглэгддэг хамгийн эртний хатуу бүрхүүл бөгөөд өндөр бат бэх, өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй зэрэг давуу талуудтай. Энэ нь бүрсэн багаж хэрэгсэл, бүрсэн хэвэнд өргөн хэрэглэгддэг анхны аж үйлдвэржсэн, өргөн хэрэглэгддэг хатуу бүрхүүлийн материал юм. TiN хатуу бүрхүүлийг анх 1000 ℃-д дулааны CVD технологиор тунадасжуулсан. Одоо үүнийг 500 ℃-д катодын нуман ионы бүрхүүл, магнетрон цацалтын бүрхүүл, хөндий катодын ионы бүрхүүл, халуун утсан нуман ионы бүрхүүл, PECVD болон бусад технологиор гаргаж авах боломжтой. Энэхүү бүрхүүлийг гадаргууг хатууруулах металл материал боловсруулах, өндөр хурдтай ган хэлбэржүүлэх хэрэгсэл, хэвний хэв үйлдвэрлэхэд удаан хугацаанд ашиглаж ирсэн. TiN-ийг 500 ℃-д тунадасжуулснаар ионы бүрхүүлийн технологи ашиглан бүрсэн зүсэх хэрэгслийг тунадасжуулах анхдагч болсон. Өндөр зэрэглэлийн боловсруулах үйлдвэрлэлийн хөгжлийн хэрэгцээг хангахын тулд янз бүрийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдтэй олон төрлийн хатуу бүрхүүлийг энэ үндсэн дээр боловсруулсан: нитрид ба карбид дээр суурилсан хоёртын, гуравны болон дөрөвний энгийн хатуулагтай хатуу бүрхүүлийг TiN дээр үндэслэн боловсруулсан, мөн эдгээр хатуу бүрхүүл дээр суурилсан хэт хатуу нано бүрхүүл, мөн хэт өндөр хатуулагтай дотоод хэт хатуу бүрхүүлийг боловсруулсан.
Хатуу бүрхүүлийн гол үзүүлэлт нь хатуулаг юм. Бүрхүүлийн хатуулгийн дагуу хатуу бүрхүүлийг дараах хүснэгтэд үзүүлсэнчлэн ердийн хатуу бүрхүүл, хэт хатуу нано бүрхүүл, мөн дотоод хэт хатуу/маш хатуу бүрхүүл гэсэн гурван төрөлд хувааж болно.
– Энэ нийтлэлийг Гуандун Жэнхуа нийтэлсэн.хатуу бүрэх машин үйлдвэрлэгч.
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 6-р сарын 7