TiN ke seaparo sa pele se thata se sebelisoang lisebelisoa tsa ho seha, ka melemo e kang matla a phahameng, ho ba thata haholo, le ho hanyetsa ho tsofala. Ke thepa ea pele ea ho seha e thata e tsoetseng pele indastering le e sebelisoang haholo, e sebelisoang haholo lisebelisoa tse koahetsoeng le liforomong tse koahetsoeng. Seaparo se thata sa TiN qalong se ile sa beoa ho 1000 ℃ ka theknoloji ea CVD ea mocheso. Joale se ka fumanoa ho 500 ℃ ka seaparo sa cathodic arc ion, seaparo sa Magnetron sputtering, seaparo sa hollow cathode ion, seaparo sa arc ion sa terata e chesang, PECVD le mahlale a mang. Seaparo sena se 'nile sa sebelisoa ka nako e telele ts'ebetsong ea thepa ea tšepe e thatafatsang bokaholimo le tlhahisong ea hlobo ea lisebelisoa tse etsang tšepe tse potlakileng le liforomo. Ho beha TiN ho 500 ℃ ho qalisitse ho beoa ha lisebelisoa tsa ho seha tse koahetsoeng ho sebelisa theknoloji ea seaparo sa ion. Ho ntshetswe pele mefuta e fapaneng ya dikobo tse thata tse nang le dikarolo tse fapaneng motheong ona ho fihlela ditlhoko tsa ntshetsopele ya indasteri ya tshebetso ya maemo a hodimo: dikobo tse thata tse nang le bothata ba binary, ternary, le quaternary bo tlwaelehileng bo thehilweng hodima nitrides le carbides di ntshetswe pele motheong wa TiN, hammoho le dikobo tse thata tsa nano tse thehilweng hodima dikobo tsena tse thata, hammoho le dikobo tse thata tsa intrinsic tse nang le bothata bo phahameng haholo.
Sesupo se seholo sa tshebetso ya dikobo tse thata ke thata. Ho ya ka thata ya ho kobo, dikobo tse thata di ka arolwa ka mefuta e meraro: dikobo tse thata tse tlwaelehileng, dikobo tse thata tsa nano, le dikobo tse thata/tse thata haholo, jwalo ka ha ho bontshitswe tafoleng e latelang.
– Sengoloa sena se lokollotsoe ke Guangdong Zhenhua,moetsi oa mechini e thata ea ho koahela.
Nako ea poso: Phuptjane-07-2023