TiN គឺជាថ្នាំកូតរឹងដំបូងបំផុតដែលប្រើក្នុងឧបករណ៍កាត់ ដែលមានគុណសម្បត្តិដូចជាកម្លាំងខ្ពស់ ភាពរឹងខ្ពស់ និងភាពធន់នឹងការពាក់។ វាគឺជាសម្ភារៈថ្នាំកូតរឹងដំបូងគេដែលឧស្សាហកម្ម និងប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយ ដែលត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧបករណ៍ថ្នាំកូត និងផ្សិតថ្នាំកូត។ ថ្នាំកូតរឹង TiN ដំបូងត្រូវបានដាក់នៅសីតុណ្ហភាព 1000 ℃ ដោយបច្ចេកវិទ្យា CVD កម្ដៅ។ ឥឡូវនេះវាអាចទទួលបាននៅសីតុណ្ហភាព 500 ℃ ដោយថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងធ្នូកាតូត ថ្នាំកូតម៉ាញ៉េត្រុងស្ព្រាតធឺរីង ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងកាតូតប្រហោង ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងធ្នូខ្សែក្តៅ PECVD និងបច្ចេកវិទ្យាផ្សេងៗទៀត។ ថ្នាំកូតនេះត្រូវបានគេប្រើប្រាស់ជាយូរមកហើយនៅក្នុងដំណើរការសម្ភារៈលោហៈរឹងលើផ្ទៃ និងការផលិតផ្សិតនៃឧបករណ៍បង្កើតដែកល្បឿនលឿន និងផ្សិត។ ការដាក់ TiN នៅសីតុណ្ហភាព 500 ℃ បានបង្កើតការដាក់ឧបករណ៍កាត់ថ្នាំកូតដោយប្រើបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុង។ ថ្នាំកូតរឹងជាច្រើនប្រភេទដែលមានសមាសធាតុផ្សេងៗគ្នាត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅលើមូលដ្ឋាននេះ ដើម្បីបំពេញតម្រូវការនៃការអភិវឌ្ឍឧស្សាហកម្មកែច្នៃកម្រិតខ្ពស់៖ ថ្នាំកូតរឹងដែលមានភាពរឹងធម្មតាគោលពីរ បី និងបួនដែលផ្អែកលើនីទ្រីត និងកាបៃ ត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅលើមូលដ្ឋាននៃ TiN ក៏ដូចជាថ្នាំកូតណាណូរឹងខ្លាំងដែលផ្អែកលើថ្នាំកូតរឹងទាំងនេះ ក៏ដូចជាថ្នាំកូតរឹងខ្លាំងដែលមានភាពរឹងខ្ពស់បំផុត។
សូចនាករដំណើរការចម្បងនៃថ្នាំកូតរឹងគឺភាពរឹង។ យោងទៅតាមភាពរឹងនៃថ្នាំកូត ថ្នាំកូតរឹងអាចត្រូវបានបែងចែកជាបីប្រភេទ៖ ថ្នាំកូតរឹងធម្មតា ថ្នាំកូតណាណូរឹងខ្លាំង និងថ្នាំកូតរឹងខ្លាំង/រឹងខ្លាំងបំផុតខាងក្នុង ដូចបង្ហាញក្នុងតារាងខាងក្រោម។
– អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយ Guangdong Zhenhua,ក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតរឹង.
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ មិថុនា-០៧-២០២៣