TiN ni àwọ̀ líle àkọ́kọ́ tí a lò nínú àwọn irinṣẹ́ gígé, pẹ̀lú àwọn àǹfààní bíi agbára gíga, líle gíga, àti ìdènà ìfàmọ́ra. Ó jẹ́ ohun èlò ìbòrí líle àkọ́kọ́ tí a ti lò ní ilé-iṣẹ́ àti tí a ti lò ní gbogbogbòò, tí a lò ní àwọn irinṣẹ́ tí a fi bo àti àwọn mọ́ọ̀dì tí a fi bo. A kọ́kọ́ fi àwọ̀ líle TiN sí i ní 1000 ℃ nípasẹ̀ ìmọ̀-ẹ̀rọ CVD ooru. Ní báyìí, a lè rí i ní 500 ℃ nípasẹ̀ àwọ̀ ion cathodic arc, àwọ̀ sputtering Magnẹtron, àwọ̀ ion cathode hollow, àwọ̀ ion arc hot wire, PECVD àti àwọn ìmọ̀-ẹ̀rọ mìíràn. A ti lo àwọ̀ yìí fún ìgbà pípẹ́ nínú ṣíṣe ohun èlò irin líle ojú ilẹ̀ àti ṣíṣe àwọn irinṣẹ́ àti àwọn mọ́ọ̀dì irin oníyára gíga. Síṣe àwọ̀ ion ní 500 ℃ ti ṣe aṣáájú ìfipamọ́ àwọn irinṣẹ́ gígé tí a fi bo nípa lílo ìmọ̀-ẹ̀rọ ìbòrí ion. A ti ṣe agbekalẹ oniruuru awọn ideri lile pẹlu awọn paati oriṣiriṣi lori ipilẹ yii lati pade awọn iwulo ti idagbasoke ile-iṣẹ iṣelọpọ giga: awọn ideri lile pẹlu lile binary, ternary, ati quaternary arinrin ti o da lori nitrides ati carbides ni ipilẹ TiN, bakanna bi awọn ideri nano superhard ti o da lori awọn ideri lile wọnyi, ati awọn ideri intrinsic superhard pẹlu lile giga-giga.
Àmì pàtàkì nípa iṣẹ́ àwọ̀ líle ni líle. Gẹ́gẹ́ bí líle àwọ̀ náà, a lè pín àwọn àwọ̀ líle sí oríṣi mẹ́ta: àwọn àwọ̀ líle lásán, àwọn àwọ̀ nano líle gidigidi, àti àwọn àwọ̀ intrinsic superhard/extremely hard coatings, gẹ́gẹ́ bí a ṣe fihàn nínú tábìlì tó tẹ̀lé e yìí.
– Guangdong Zhenhua ló gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde,olùpèsè àwọn ẹ̀rọ ìbòrí líle kan.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹfà-07-2023

