ZCL0608

この装置は、マグネトロンスパッタリングと抵抗蒸着技術を統合し、さまざまな基板をコーティングするためのソリューションを提供します。
実験用コーティング装置は主に大学や科学研究機関で使用され、様々な実験要件を満たすことができます。装置には様々な構造ターゲットが用意されており、様々な分野の科学研究開発に合わせて柔軟に構成できます。マグネトロンスパッタリングシステム、カソードアークシステム、電子ビーム蒸着システム、抵抗蒸着システム、CVD、PECVD、イオン源、バイアスシステム、加熱システム、3次元固定具など、お客様の様々なニーズに合わせてお選びいただけます。
この装置は、美しい外観、コンパクトな構造、小さな床面積、高度な自動化、シンプルで柔軟な操作、安定した性能、メンテナンスの容易さなどの特徴を備えています。
この装置は、プラスチック、ステンレス鋼、電気めっきされた金属／プラスチック部品、ガラス、セラミックスなどの材料に適用できます。チタン、クロム、銀、銅、アルミニウムなどの単純な金属層、またはTiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrCなどの金属複合膜を作製できます。