Avadanlıq maqnetron püskürtmə və müqavimət buxarlanma texnologiyasını birləşdirir və müxtəlif substratların örtülməsi üçün bir həll təqdim edir.
Təcrübə örtük avadanlığı əsasən universitetlərdə və elmi tədqiqat müəssisələrində istifadə olunur və müxtəlif təcrübi tələblərə cavab verə bilər. Avadanlıq üçün müxtəlif struktur hədəflər ayrılmışdır ki, bunlar müxtəlif sahələrdəki elmi tədqiqat və inkişafa uyğun olaraq çevik şəkildə konfiqurasiya edilə bilər. Maqnetron püskürtmə sistemi, katod qövs sistemi, elektron şüa buxarlanma sistemi, müqavimət buxarlanma sistemi, CVD, PECVD, ion mənbəyi, qərəz sistemi, istilik sistemi, üçölçülü qurğu və s. seçilə bilər. Müştərilər fərqli ehtiyaclarına uyğun olaraq seçim edə bilərlər.
Avadanlıq gözəl görünüş, kompakt quruluş, kiçik döşəmə sahəsi, yüksək dərəcədə avtomatlaşdırma, sadə və çevik işləmə, sabit performans və asan texniki xidmət xüsusiyyətlərinə malikdir.
Avadanlıq plastik, paslanmayan polad, elektrokaplama aparatları / plastik hissələr, şüşə, keramika və digər materiallara tətbiq oluna bilər. Titan, xrom, gümüş, mis, alüminium kimi sadə metal təbəqələr və ya TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC kimi metal birləşmə filmləri hazırlana bilər.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |