L'apparecchiatura integra la tecnologia di sputtering a magnetron e quella di evaporazione a resistenza, e offre una soluzione per il rivestimento di una varietà di substrati diversi.
Le apparecchiature di rivestimento sperimentali sono utilizzate principalmente in università e istituti di ricerca scientifica e possono soddisfare una varietà di esigenze sperimentali. Le apparecchiature sono dotate di diverse configurazioni strutturali, che consentono di adattarle in modo flessibile alla ricerca e allo sviluppo scientifico in diversi campi. È possibile scegliere tra sistemi di sputtering a magnetron, sistemi ad arco catodico, sistemi di evaporazione a fascio di elettroni, sistemi di evaporazione a resistenza, CVD, PECVD, sorgenti ioniche, sistemi di polarizzazione, sistemi di riscaldamento, dispositivi di fissaggio tridimensionali, ecc. I clienti possono selezionare la soluzione più adatta alle proprie esigenze.
L'apparecchiatura presenta le seguenti caratteristiche: aspetto gradevole, struttura compatta, ingombro ridotto, elevato grado di automazione, funzionamento semplice e flessibile, prestazioni stabili e facile manutenzione.
L'apparecchiatura può essere utilizzata su plastica, acciaio inossidabile, componenti metallici/plastici galvanizzati, vetro, ceramica e altri materiali. È possibile realizzare semplici strati metallici come titanio, cromo, argento, rame, alluminio o pellicole di composti metallici come TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |