De apparatuur combineert magnetron sputter- en weerstandsverdampingstechnologie en biedt een oplossing voor het coaten van diverse substraten.
De experimentele coatingapparatuur wordt voornamelijk gebruikt in universiteiten en wetenschappelijke onderzoeksinstellingen en kan aan uiteenlopende experimentele eisen voldoen. Er zijn verschillende structurele targets beschikbaar voor de apparatuur, die flexibel kan worden geconfigureerd om te voldoen aan de behoeften van wetenschappelijk onderzoek en ontwikkeling in verschillende vakgebieden. Er kan worden gekozen uit systemen zoals magnetron sputteren, kathodeboogsystemen, elektronenbundelverdamping, weerstandsverdamping, CVD, PECVD, ionenbronnen, bias-systemen, verwarmingssystemen en driedimensionale armaturen. Klanten kunnen een keuze maken op basis van hun specifieke behoeften.
De apparatuur kenmerkt zich door een fraai uiterlijk, compacte structuur, geringe vloeroppervlakte, hoge mate van automatisering, eenvoudige en flexibele bediening, stabiele prestaties en gemakkelijk onderhoud.
De apparatuur kan worden toegepast op kunststof, roestvrij staal, gegalvaniseerde metalen/kunststof onderdelen, glas, keramiek en andere materialen. Eenvoudige metaallagen zoals titanium, chroom, zilver, koper, aluminium of metaalcomposietfilms zoals TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC kunnen worden aangebracht.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |