Bu ekipman, manyetik püskürtme ve dirençli buharlaştırma teknolojilerini entegre ederek çeşitli farklı yüzeylerin kaplanması için bir çözüm sunmaktadır.
Deneysel kaplama ekipmanı esas olarak üniversitelerde ve bilimsel araştırma kurumlarında kullanılmaktadır ve çeşitli deneysel gereksinimleri karşılayabilir. Ekipman için çeşitli yapısal hedefler ayrılmıştır ve farklı alanlardaki bilimsel araştırma ve geliştirmeyi karşılamak üzere esnek bir şekilde yapılandırılabilir. Manyetik püskürtme sistemi, katot ark sistemi, elektron ışınlı buharlaştırma sistemi, dirençli buharlaştırma sistemi, CVD, PECVD, iyon kaynağı, bias sistemi, ısıtma sistemi, üç boyutlu fikstür vb. seçilebilir. Müşteriler farklı ihtiyaçlarına göre seçim yapabilirler.
Bu ekipman, güzel görünüm, kompakt yapı, az yer kaplama, yüksek otomasyon derecesi, basit ve esnek kullanım, istikrarlı performans ve kolay bakım özelliklerine sahiptir.
Bu ekipman plastik, paslanmaz çelik, elektrolizle kaplanmış metal/plastik parçalar, cam, seramik ve diğer malzemelere uygulanabilir. Titanyum, krom, gümüş, bakır, alüminyum gibi basit metal katmanlar veya TiN/TiCN/TiC/TiO2/TiAlN/CrN/ZrN/CrC gibi metal bileşik filmler hazırlanabilir.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |