ZCL0608

A berendezés integrálja a magnetronos porlasztást és az ellenállás-párologtatási technológiát, és megoldást kínál különféle hordozók bevonására.
A kísérleti bevonóberendezéseket főként egyetemeken és tudományos kutatóintézetekben használják, és számos kísérleti követelménynek tudnak megfelelni. A berendezések számára különféle szerkezeti célpontokat tartanak fenn, amelyek rugalmasan konfigurálhatók a különböző területeken végzett tudományos kutatás és fejlesztés igényeinek kielégítésére. Magnetronos porlasztási rendszer, katódív rendszer, elektronnyalábos párologtató rendszer, ellenállás-párologtató rendszer, CVD, PECVD, ionforrás, előfeszítő rendszer, fűtőrendszer, háromdimenziós rögzítőelem stb. választható. Az ügyfelek a különböző igényeiknek megfelelően választhatnak.
A berendezés jellemzői a szép megjelenés, a kompakt felépítés, a kis alapterület, a magas fokú automatizálás, az egyszerű és rugalmas működés, a stabil teljesítmény és a könnyű karbantartás.
A berendezés műanyag, rozsdamentes acél, galvanizált hardver/műanyag alkatrészek, üveg, kerámia és egyéb anyagok megmunkálására alkalmas. Egyszerű fémrétegek, például titán, króm, ezüst, réz, alumínium, vagy fémvegyület filmek, például TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC is előállíthatók.