Cet équipement intègre les technologies de pulvérisation cathodique magnétronique et d'évaporation par résistance, et offre une solution pour le revêtement d'une variété de substrats différents.
L'équipement de revêtement expérimental est principalement utilisé dans les universités et les instituts de recherche scientifique, et répond à une grande variété d'exigences expérimentales. Différentes configurations sont disponibles pour cet équipement, permettant une adaptation flexible aux besoins de la recherche et du développement dans divers domaines. Il est possible de choisir parmi les systèmes suivants : pulvérisation cathodique magnétronique, arc cathodique, évaporation par faisceau d'électrons, évaporation par résistance, CVD, PECVD, source d'ions, système de polarisation, système de chauffage, dispositif de fixation tridimensionnel, etc. Les clients peuvent sélectionner l'équipement en fonction de leurs besoins spécifiques.
Cet équipement se caractérise par une belle apparence, une structure compacte, un faible encombrement au sol, un haut degré d'automatisation, un fonctionnement simple et flexible, des performances stables et une maintenance facile.
Cet équipement peut être utilisé sur du plastique, de l'acier inoxydable, des pièces métalliques/plastiques électroplaquées, du verre, de la céramique et d'autres matériaux. Il permet de déposer des couches métalliques simples telles que du titane, du chrome, de l'argent, du cuivre, de l'aluminium ou des films de composés métalliques tels que TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |