ອຸປະກອນດັ່ງກ່າວປະສົມປະສານເຕັກໂນໂລຊີການສະເປເຕີຣິງແມກນີຕຣອນ ແລະ ການລະເຫີຍຄວາມຕ້ານທານ, ແລະ ສະໜອງວິທີແກ້ໄຂສຳລັບການເຄືອບວັດສະດຸທີ່ແຕກຕ່າງກັນຫຼາກຫຼາຍຊະນິດ.
ອຸປະກອນເຄືອບທົດລອງສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນມະຫາວິທະຍາໄລ ແລະ ສະຖາບັນຄົ້ນຄວ້າວິທະຍາສາດ, ແລະ ສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການດ້ານການທົດລອງທີ່ຫຼາກຫຼາຍ. ເປົ້າໝາຍໂຄງສ້າງຕ່າງໆແມ່ນສະຫງວນໄວ້ສຳລັບອຸປະກອນ, ເຊິ່ງສາມາດຕັ້ງຄ່າໄດ້ຢ່າງຍືດຫຍຸ່ນເພື່ອຕອບສະໜອງການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາວິທະຍາສາດໃນຂົງເຂດຕ່າງໆ. ລະບົບສະເປຣດເຕີຣິງແມກນີຕຣອນ, ລະບົບໂຄ້ງແຄໂທດ, ລະບົບລະເຫີຍລຳແສງເອເລັກຕຣອນ, ລະບົບລະເຫີຍຄວາມຕ້ານທານ, CVD, PECVD, ແຫຼ່ງໄອອອນ, ລະບົບໄບອັສ, ລະບົບຄວາມຮ້ອນ, ອຸປະກອນສາມມິຕິ, ແລະອື່ນໆ ສາມາດເລືອກໄດ້. ລູກຄ້າສາມາດເລືອກໄດ້ຕາມຄວາມຕ້ອງການທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.
ອຸປະກອນດັ່ງກ່າວມີຄຸນລັກສະນະຂອງຮູບລັກສະນະທີ່ສວຍງາມ, ໂຄງສ້າງທີ່ກະທັດຮັດ, ພື້ນທີ່ພື້ນນ້ອຍ, ລະດັບອັດຕະໂນມັດສູງ, ການດໍາເນີນງານງ່າຍດາຍແລະມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ, ປະສິດທິພາບທີ່ໝັ້ນຄົງແລະບໍາລຸງຮັກສາງ່າຍ.
ອຸປະກອນດັ່ງກ່າວສາມາດນຳໃຊ້ກັບພາດສະຕິກ, ເຫຼັກສະແຕນເລດ, ຮາດແວ/ຊິ້ນສ່ວນພາດສະຕິກທີ່ເຄືອບດ້ວຍໄຟຟ້າ, ແກ້ວ, ເຊລາມິກ ແລະ ວັດສະດຸອື່ນໆ. ຊັ້ນໂລຫະງ່າຍໆເຊັ່ນ: ທາດໄທທານຽມ, ໂຄຣມຽມ, ເງິນ, ທອງແດງ, ອາລູມິນຽມ ຫຼື ຟິມປະສົມໂລຫະເຊັ່ນ: TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC ສາມາດກະກຽມໄດ້.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500 * H600 (ມມ) | φ600 * H800 (ມມ) | φ800 * H1000 (ມມ) |