La struttura della sorgente di evaporazione a riscaldamento resistivo è semplice, facile da usare e da realizzare, ed è il tipo di sorgente di evaporazione più diffuso. Viene comunemente chiamata generatore di calore o barca evaporativa.
I requisiti per il materiale resistivo utilizzato per il riscaldamento sono: elevata resistenza termica, bassa pressione di vapore ad alte temperature, assenza di reazioni chimiche con il materiale della membrana, assenza di degassamento e inquinamento. I materiali resistivi selezionati sono principalmente metalli refrattari, come W, Mo, Ta e altri materiali, oppure ceramiche conduttive sintetiche ad alta purezza e resistenza come grafite o nitruro di boro. Talvolta, si possono scegliere anche Fe, Ni, leghe Ni-Cr e Pt come materiale di partenza per l'evaporazione.
Le diverse fonti di evaporazione per riscaldamento a resistenza di materiali comuni (come Ti, Mo, C, Ta, W, ecc.) presentano curve di relazione tra punto di fusione, pressione di vapore e temperatura differenti. Tra questi, il tungsteno diventa fragile quando riscaldato alla temperatura di evaporazione a causa dei prodotti di giunzione termica. Il molibdeno, d'altra parte, varia in purezza, con alcuni campioni che diventano fragili e altri no. Il tungsteno reagisce con il vapore acqueo formando il composto volatile di ossigeno WO3.
Pertanto, quando il tungsteno viene riscaldato in presenza di vapore acqueo residuo, il materiale riscaldato si consuma continuamente. Quando la pressione del gas residuo è bassa, la perdita di materiale è minima, ma si verifica una grave contaminazione della membrana.
Nell'utilizzo di sorgenti a filamento, è necessario prestare attenzione alla bagnatura del materiale della membrana da parte del filo caldo. Ad esempio, se la temperatura del filo caldo aumenta troppo rapidamente, il materiale della membrana non si fonde immediatamente e la bagnatura del filo caldo non è sufficiente. Di conseguenza, la pellicola non fusa potrebbe staccarsi dal cestello del filo. Allo stesso tempo, un aumento di temperatura troppo rapido provoca anche un rapido rilascio di gas dal materiale della membrana, con conseguente formazione di bolle o schizzi, che a loro volta possono causare la formazione di piccole goccioline che aderiscono al substrato. Pertanto, è necessario utilizzare sorgenti a filamento con controllo della temperatura.
Il principale svantaggio dei cestelli di filo, delle bobine coniche o a spirale è che la quantità di materiale di supporto della pellicola è troppo ridotta, e questa caratteristica provoca un aumento della temperatura del filo caldo man mano che la quantità di materiale della pellicola diminuisce dopo l'evaporazione, causando quindi un aumento del tasso di evaporazione. Questo è un problema da tenere in considerazione anche nei processi di produzione di pellicole che richiedono un controllo rigoroso del tasso di evaporazione.
(2) Il principio di funzionamento, la forma della struttura e le caratteristiche d'uso
La sorgente di evaporazione a riscaldamento resistivo, in realtà, è un riscaldatore a resistenza che utilizza un generatore di calore o una vaschetta di evaporazione alimentata direttamente, in modo che la corrente, attraverso un gran numero di Joule di calore, raggiunga un'alta temperatura tale da fondere il materiale del film metallico, provocandone così l'evaporazione.
–Questo articolo è pubblicato daproduttore di macchine per rivestimento sottovuotoGuangdongZhenhua
Data di pubblicazione: 23 febbraio 2024