Müqavimətli istilik buxarlanma mənbəyinin quruluşu sadədir, istifadəsi asandır, hazırlanması asandır və ən çox istifadə edilən bir növ buxarlanma mənbəyidir. İnsanlar adətən istilik generatoru və ya buxarlanma qayığı adlanırlar.
İstifadə olunan müqavimət materialının qızdırılması üçün tələblər: yüksək temperatur, müqavimət, yüksək temperaturda aşağı buxar təzyiqi, membran materialı ilə kimyəvi reaksiyaya girməməsi, qazın çıxması və çirklənmə yaratmaması. Seçilmiş müqavimətli qızdırma materialları əsasən W, Mo, Ta və digər materiallar kimi odadavamlı metallardan və ya yüksək təmizlikli, yüksək möhkəmlikli qrafit və ya bor nitrid sintetik keçirici keramika və digər materiallardan seçilir. Bəzən buxarlanma mənbəyi materialı kimi Fe, Ni, Ni-Cr ərintiləri və Pt də seçilə bilər.
Müxtəlif müqavimətli istilik buxarlanma mənbələri üçün geniş yayılmış materialların (məsələn, Ti, Mo, C, Ta, W və s.) ərimə nöqtəsi və buxar təzyiqi və temperatur əlaqəsi əyrisi fərqlidir. Bunlar arasında volfram buxarlanma temperaturuna qədər qızdırıldıqda qızdırma qovşağı məhsulu səbəbindən kövrək olur. Digər tərəfdən, molibdenin saflığı dəyişir, bəziləri kövrək olur, bəziləri isə yox. Volfram su buxarı ilə reaksiyaya girərək uçucu oksigen birləşməsini WO3 əmələ gətirir.
Buna görə də, volfram qalıq su buxarında qızdırıldıqda, qızdırılan material davamlı olaraq tükənir. Qalıq qaz təzyiqi aşağı olduqda, çox material itkisi olmur, lakin bu, membranın ciddi şəkildə çirklənməsidir.
Filamentar mənbələrdən istifadə edərkən membran materialındakı isti telin islanmasına diqqət yetirilməlidir. Məsələn, isti telin temperaturu çox tez yüksəlir, membran materialı bütün membran materialını dərhal əritmək asan deyil və isti telin islanması kifayət deyil. Nəticədə, əriməmiş təbəqə tel səbətindən düşə bilər. Eyni zamanda, temperaturun çox sürətli artması membran materialındakı qazın tez bir zamanda sərbəst buraxılmasına səbəb olacaq və nəticədə qabarcıqlar və ya sıçramalar əmələ gələcək, nəticədə substrata yapışan kiçik damcılar əmələ gələcək. Buna görə də, filament mənbələri temperatur nəzarəti ilə istifadə edilməlidir.
Məftil səbətlərinin, konik spiralların və ya spiral spiralların əsas çatışmazlığı, dəstəkləyici film materialının miqdarının çox az olmasıdır və bu mənbə film materialı buxarlandıqdan sonra film materialının miqdarı azaldıqca isti telin temperaturunun yüksəlməsinə səbəb olacaq və beləliklə, buxarlanma sürətinin artmasına səbəb olacaq. Bu, həmçinin buxarlanma sürətinə ciddi nəzarət tələb edən film istehsalı prosesi üçün də qeyd edilməli olan bir problemdir.
(2) İş prinsipi və struktur forması və istifadə xarakteristikası
Müqavimət qızdırıcısı, əslində, istilik generatorunun və ya buxarlanma qayığının birbaşa enerji ilə istifadəsidir, beləliklə cərəyan çox sayda Joule istilik verir və metal film materialını əritmək üçün yüksək temperatur əldə edir və beləliklə, buxarlanma mənbəyinin bir növüdür.
–Bu məqalə dərc olunubvakuum örtük maşını istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Yayımlanma vaxtı: 23 Fevral 2024