Ang istraktura ng pinagmumulan ng singaw na may resistensya sa pag-init ay simple, madaling gamitin, at madaling gawin, at ito ang pinaka-malawak na ginagamit na uri ng pinagmumulan ng singaw. Karaniwang tinatawag ang mga tao na heat generator o evaporation boat.
Ang mga kinakailangan sa pagpapainit ng materyal na ginamit ay: mataas na temperatura, resistivity, mababang presyon ng singaw sa mataas na temperatura, walang kemikal na reaksyon sa materyal ng lamad, hindi nagdudulot ng outgassing at polusyon. Ang mga piling materyales sa pagpapainit ng resistensya ay pangunahing gawa sa mga refractory metal, tulad ng W, Mo, Ta at iba pang materyales o pagpili ng mataas na kadalisayan, mataas na lakas na graphite o boron nitride synthetic conductive ceramics at iba pang materyales. Minsan, maaari ring pumili ng Fe, Ni, Ni-Cr alloy at Pt bilang pinagmumulan ng ebaporasyon na materyal.
Iba-iba ang kurba ng ugnayan ng temperatura at temperatura ng temperatura ng iba't ibang resistensya sa pag-init dahil sa pinagmumulan ng pagsingaw ng mga karaniwang materyales (tulad ng Ti, Mo, C, Ta, W, atbp.). Sa mga ito, ang tungsten ay nagiging malutong kapag pinainit sa temperatura ng pagsingaw dahil sa produktong pinagdugtong ng pag-init. Sa kabilang banda, ang molybdenum ay nag-iiba sa kadalisayan, kung saan ang ilan ay nagiging malutong at ang iba ay hindi. Ang tungsten ay tumutugon sa singaw ng tubig upang bumuo ng pabagu-bagong oxygen compound na WO3.
Samakatuwid, kapag ang tungsten ay pinainit sa natitirang singaw ng tubig, ang pinainit na materyal ay patuloy na nauubos. Kapag mababa ang natitirang presyon ng gas, walang gaanong pagkawala ng materyal, ngunit ito ay isang malubhang kontaminasyon ng lamad.
Ang paggamit ng mga pinagmumulan ng filamentary ay dapat bigyang-pansin ang pagkabasa ng mainit na alambre sa materyal ng lamad. Halimbawa, kung masyadong mabilis ang pagtaas ng temperatura ng mainit na alambre, hindi madaling matunaw agad ang lahat ng materyal ng lamad sa materyal ng lamad, at hindi sapat ang pagkabasa ng mainit na alambre. Bilang resulta, maaaring mahulog ang hindi natunaw na pelikula mula sa basket ng alambre. Kasabay nito, ang sobrang bilis na pagtaas ng temperatura ay magiging sanhi rin ng mabilis na paglabas ng gas sa materyal ng lamad, na magreresulta sa mga bula o pagtalsik, na magiging sanhi ng pagkadikit ng maliliit na patak sa substrate. Samakatuwid, dapat gamitin ang mga pinagmumulan ng filament na may kontrol sa temperatura.
Ang pangunahing disbentaha ng mga wire basket, conical coil o spiral coil ay ang napakaliit ng dami ng sumusuportang materyal ng pelikula, at ang pinagmumulan na ito ay magdudulot ng pagtaas ng temperatura ng mainit na alambre habang bumababa ang dami ng materyal ng pelikula pagkatapos ma-evaporate ang materyal ng pelikula, kaya naman tumataas ang rate ng pagsingaw. Ito rin ay isang problemang dapat tandaan para sa proseso ng paggawa ng pelikula na nangangailangan ng mahigpit na kontrol sa rate ng pagsingaw.
(2) Ang prinsipyo ng paggana at ang hugis at katangian ng istraktura ng paggamit
Ang pinagmumulan ng pagsingaw ng resistensya sa pag-init, sa katunayan, ay isang pampainit ng resistensya na direktang pinapagana ng heat generator o evaporation boat, kaya ang kasalukuyang dumadaan sa isang malaking bilang ng Joule heat at nakakakuha ng mataas na temperatura upang matunaw ang metal film material, kaya ang pagsingaw nito ay isang uri ng pinagmumulan ng pagsingaw.
–Inilabas ang artikulong ito nitagagawa ng vacuum coating machineGuangdong Zhenhua
Oras ng pag-post: Pebrero 23, 2024