Cấu trúc của nguồn bay hơi gia nhiệt bằng điện trở rất đơn giản, dễ sử dụng, dễ chế tạo, là loại nguồn bay hơi được sử dụng rộng rãi nhất. Người ta thường gọi nó là máy phát nhiệt hoặc thuyền bay hơi.
Các yêu cầu đối với vật liệu điện trở dùng trong gia nhiệt là: nhiệt độ cao, điện trở suất cao, áp suất hơi thấp ở nhiệt độ cao, không phản ứng hóa học với vật liệu màng, không tạo ra khí thải và gây ô nhiễm. Vật liệu điện trở gia nhiệt được lựa chọn chủ yếu từ các kim loại chịu nhiệt, chẳng hạn như W, Mo, Ta và các vật liệu khác hoặc lựa chọn than chì có độ tinh khiết cao, độ bền cao hoặc gốm dẫn điện tổng hợp boron nitride và các vật liệu khác. Đôi khi, cũng có thể chọn Fe, Ni, hợp kim Ni-Cr và Pt làm vật liệu nguồn bay hơi.
Các nguồn nhiệt điện trở làm bay hơi khác nhau của các vật liệu thông thường (như Ti, Mo, C, Ta, W, v.v.) có mối quan hệ khác nhau giữa điểm nóng chảy, áp suất hơi và nhiệt độ. Trong đó, vonfram trở nên giòn khi được nung nóng đến nhiệt độ bay hơi do sản phẩm tạo thành tại điểm nối nhiệt. Mặt khác, molypden có độ tinh khiết khác nhau, một số trở nên giòn và một số thì không. Vonfram phản ứng với hơi nước tạo thành hợp chất oxy dễ bay hơi WO3.
Do đó, khi nung nóng vonfram trong hơi nước dư, vật liệu bị nung nóng sẽ liên tục bị hao hụt. Khi áp suất khí dư thấp, lượng vật liệu bị mất không nhiều, nhưng điều này lại gây ô nhiễm nghiêm trọng cho màng.
Khi sử dụng nguồn nhiệt dạng sợi đốt, cần chú ý đến việc làm ướt dây nóng lên vật liệu màng. Ví dụ, nếu nhiệt độ dây nóng tăng quá nhanh, vật liệu màng không dễ bị nóng chảy hoàn toàn ngay lập tức và việc làm ướt dây nóng không đủ. Kết quả là, phần màng chưa nóng chảy có thể rơi ra khỏi giá đỡ dây. Đồng thời, nếu nhiệt độ tăng quá nhanh cũng sẽ khiến khí trong vật liệu màng thoát ra nhanh chóng, dẫn đến tạo bọt hoặc bắn tóe, kết quả là sẽ tạo thành các giọt nhỏ bám vào chất nền. Do đó, cần sử dụng nguồn nhiệt dạng sợi đốt có kiểm soát nhiệt độ.
Nhược điểm chính của các loại giá đỡ dạng lưới, cuộn hình nón hoặc cuộn xoắn ốc là lượng vật liệu màng hỗ trợ quá ít, và điều này sẽ khiến nhiệt độ của dây nóng tăng lên khi lượng vật liệu màng giảm sau khi màng bay hơi, do đó làm tăng tốc độ bay hơi. Đây cũng là một vấn đề cần lưu ý đối với quy trình làm màng đòi hỏi kiểm soát chặt chẽ tốc độ bay hơi.
(2) Nguyên lý hoạt động, hình dạng cấu trúc và đặc điểm sử dụng
Nguồn bay hơi gia nhiệt bằng điện trở, thực chất là một loại điện trở gia nhiệt được cấp điện trực tiếp từ máy phát nhiệt hoặc bình bay hơi, để dòng điện chạy qua tạo ra một lượng nhiệt Joule lớn và đạt đến nhiệt độ cao làm tan chảy vật liệu màng kim loại, từ đó tạo ra sự bay hơi.
–Bài viết này được phát hành bởiNhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng bài: 23/02/2024