Struktur sumber penyejatan pemanasan rintangan adalah mudah, mudah digunakan, mudah dibuat, dan merupakan salah satu jenis sumber penyejatan yang paling banyak digunakan. Orang ramai biasanya dipanggil penjana haba atau bot penyejatan.
Keperluan pemanasan bahan rintangan yang digunakan adalah: suhu tinggi, kerintangan, tekanan wap rendah pada suhu tinggi, tiada tindak balas kimia dengan bahan membran, tidak menghasilkan gas keluar dan pencemaran. Bahan pemanasan rintangan terpilih terutamanya daripada logam refraktori, seperti W, Mo, Ta dan bahan lain atau pemilihan seramik konduktif sintetik grafit berketulenan tinggi atau boron nitrida berketulenan tinggi dan bahan lain. Kadangkala, boleh juga memilih aloi Fe, Ni, Ni-Cr dan Pt sebagai bahan sumber penyejatan.
Pelbagai sumber penyejatan pemanasan rintangan bagi bahan biasa (seperti Ti, Mo, C, Ta, W, dll.) mempunyai lengkung hubungan takat lebur dan tekanan wap serta suhu yang berbeza. Antaranya, tungsten menjadi rapuh apabila dipanaskan pada suhu penyejatan disebabkan oleh hasil simpang pemanasan. Sebaliknya, molibdenum berbeza-beza dari segi ketulenannya, dengan sesetengahnya menjadi rapuh dan yang lain tidak. Tungsten bertindak balas dengan wap air untuk membentuk sebatian oksigen meruap WO3.
Oleh itu, apabila tungsten dipanaskan dalam wap air sisa, bahan yang dipanaskan akan terus berkurangan. Apabila tekanan gas sisa rendah, tidak banyak kehilangan bahan, tetapi ia merupakan pencemaran membran yang serius.
Penggunaan sumber filamen perlu memberi perhatian kepada pembasahan dawai panas pada bahan membran. Contohnya, peningkatan suhu dawai panas terlalu cepat, bahan membran tidak mudah mencairkan semua bahan membran dengan segera dan pembasahan dawai panas tidak mencukupi. Akibatnya, filem yang tidak cair mungkin jatuh dari bakul dawai. Pada masa yang sama, peningkatan suhu yang terlalu cepat juga akan menyebabkan bahan membran dalam gas dilepaskan dengan cepat, mengakibatkan gelembung atau percikan, hasilnya akan menyebabkan pembentukan titisan kecil melekat pada substrat. Oleh itu, sumber filamen harus digunakan dengan kawalan suhu.
Kelemahan utama bakul dawai, gegelung kon atau gegelung lingkaran ialah jumlah bahan filem sokongan terlalu kecil, dan sumber ini akan menyebabkan suhu dawai panas meningkat apabila jumlah bahan filem berkurangan selepas bahan filem tersejat, sekali gus menyebabkan kadar penyejatan meningkat. Ini juga merupakan masalah yang perlu diberi perhatian untuk proses pembuatan filem yang memerlukan kawalan ketat terhadap kadar penyejatan.
(2) Prinsip kerja dan struktur bentuk dan ciri penggunaan
Sumber penyejatan pemanasan rintangan, sebenarnya, adalah pemanas rintangan yang menggunakan penjana haba atau bot penyejatan yang ditenagakan secara langsung, supaya arus melalui sejumlah besar haba Joule dan mendapatkan suhu tinggi untuk mencairkan bahan filem logam, supaya penyejatannya sejenis sumber penyejatan.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: 23 Feb-2024