प्रतिरोध तापन वाष्पीकरण स्रोत की विशेषताएं, आवश्यकताएं और सामग्री चयन

प्रतिरोध तापन वाष्पीकरण स्रोत की संरचना सरल, उपयोग में आसान और निर्माण में सरल है, और यह सबसे व्यापक रूप से उपयोग किए जाने वाले वाष्पीकरण स्रोतों में से एक है। इसे आमतौर पर हीट जनरेटर या वाष्पीकरण नाव कहा जाता है।

उपयोग किए जाने वाले प्रतिरोधक पदार्थ की तापन संबंधी आवश्यकताएँ हैं: उच्च तापमान, प्रतिरोधकता, उच्च तापमान पर कम वाष्प दाब, झिल्ली पदार्थ के साथ कोई रासायनिक अभिक्रिया न होना, गैस उत्सर्जन और प्रदूषण न होना। चयनित प्रतिरोधक तापन पदार्थ मुख्यतः दुर्दम्य धातुओं, जैसे कि W, Mo, Ta और अन्य पदार्थों से बने होते हैं, या उच्च शुद्धता और उच्च शक्ति वाले ग्रेफाइट या बोरॉन नाइट्राइड से निर्मित संवाहक सिरेमिक और अन्य पदार्थों से चुने जाते हैं। कभी-कभी, वाष्पीकरण स्रोत पदार्थ के रूप में Fe, Ni, Ni-Cr मिश्र धातु और Pt का भी चयन किया जा सकता है।

विभिन्न प्रतिरोध तापन स्रोतों से प्राप्त सामान्य पदार्थों (जैसे टाइटेनियम, मोलिब्डेनम, कार्बन, टैंटलम, वॉट आदि) के गलनांक, वाष्प दाब और तापमान के बीच संबंध वक्र भिन्न-भिन्न होते हैं। इनमें से, टंगस्टन वाष्पीकरण तापमान तक गर्म करने पर भंगुर हो जाता है क्योंकि तापन के कारण एक यौगिक बनता है। दूसरी ओर, मोलिब्डेनम की शुद्धता अलग-अलग होती है, कुछ मोलिब्डेनम भंगुर हो जाते हैं जबकि कुछ नहीं। टंगस्टन जल वाष्प के साथ अभिक्रिया करके वाष्पशील ऑक्सीजन यौगिक WO3 बनाता है।

इसलिए, जब टंगस्टन को अवशिष्ट जल वाष्प में गर्म किया जाता है, तो गर्म पदार्थ लगातार कम होता जाता है। जब अवशिष्ट गैस का दबाव कम होता है, तो पदार्थ की हानि अधिक नहीं होती, लेकिन यह झिल्ली के लिए गंभीर संदूषण का कारण बनता है।

फिलामेंट आधारित बिजली स्रोतों का उपयोग करते समय, झिल्ली सामग्री पर गर्म तार के गीलेपन पर विशेष ध्यान देना चाहिए। उदाहरण के लिए, यदि गर्म तार का तापमान बहुत तेज़ी से बढ़ता है, तो झिल्ली सामग्री तुरंत पिघल नहीं पाती और पर्याप्त गीलापन नहीं हो पाता। परिणामस्वरूप, बिना पिघली हुई परत तार की टोकरी से गिर सकती है। साथ ही, तापमान में अत्यधिक वृद्धि से झिल्ली सामग्री में मौजूद गैस भी तेज़ी से निकलती है, जिससे बुलबुले या छींटे पड़ सकते हैं और छोटे-छोटे कण सतह पर चिपक सकते हैं। इसलिए, फिलामेंट आधारित बिजली स्रोतों का उपयोग तापमान नियंत्रण के साथ किया जाना चाहिए।

तार की टोकरियों, शंक्वाकार कुंडलियों या सर्पिल कुंडलियों का मुख्य नुकसान यह है कि इनमें सहायक फिल्म सामग्री की मात्रा बहुत कम होती है, और इस कारण फिल्म सामग्री के वाष्पीकरण के बाद उसकी मात्रा कम होने पर गर्म तार का तापमान बढ़ जाता है, जिससे वाष्पीकरण की दर बढ़ जाती है। फिल्म निर्माण प्रक्रिया में वाष्पीकरण दर पर सख्त नियंत्रण की आवश्यकता होती है, इसलिए यह एक महत्वपूर्ण समस्या है जिस पर ध्यान देना आवश्यक है।

(2) कार्य सिद्धांत और संरचना आकार तथा उपयोग विशेषता

प्रतिरोध तापन वाष्पीकरण स्रोत, वास्तव में, एक प्रतिरोध हीटर है जो सीधे ऊर्जा उत्पन्न करने वाले या वाष्पीकरण नाव का उपयोग करता है, जिससे बड़ी संख्या में जूल ऊष्मा प्रवाहित होती है और धातु की परत को पिघलाने के लिए उच्च तापमान प्राप्त होता है, जिससे इसका वाष्पीकरण होता है।

–यह लेख द्वारा प्रकाशित किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ