Struktur sumber penguapan pemanasan résistansi téh basajan, gampang dianggo, gampang dijieun, sareng mangrupikeun salah sahiji jinis sumber penguapan anu paling seueur dianggo. Jalma-jalma biasana disebut generator panas atanapi parahu penguapan.
Sarat pemanasan bahan résistansi anu dianggo nyaéta: suhu luhur, résistansivitas, tekanan uap handap dina suhu luhur, teu aya réaksi kimia sareng bahan mémbran, teu ngahasilkeun gas kaluar sareng polusi. Bahan pemanasan résistansi anu dipilih utamina tina logam refraktori, sapertos W, Mo, Ta sareng bahan sanésna atanapi pilihan grafit anu luhur, kakuatan luhur atanapi boron nitrida keramik konduktif sintétis sareng bahan sanésna. Kadang-kadang, ogé tiasa milih Fe, Ni, paduan Ni-Cr sareng Pt salaku bahan sumber penguapan.
Rupa-rupa sumber penguapan résistansi pemanasan tina bahan umum (sapertos Ti, Mo, C, Ta, W, jsb.) tina kurva hubungan titik lebur sareng tekanan uap sareng suhu béda-béda. Di antarana, tungsten janten rapuh nalika dipanaskeun kana suhu penguapan kusabab produk sambungan pemanasan. Molibdenum, di sisi anu sanés, rupa-rupa dina kamurnian, kalayan sababaraha janten rapuh sareng anu sanésna henteu. Tungsten réaksi sareng uap cai pikeun ngabentuk sanyawa oksigén anu nguap WO3.
Ku kituna, nalika tungsten dipanaskeun dina uap cai sésa, bahan anu dipanaskeun bakal terus béak. Nalika tekanan gas sésa handap, teu seueur karugian bahan, tapi éta mangrupikeun kontaminasi anu serius dina mémbran.
Panggunaan sumber filamén kedah merhatikeun baseuhna kawat panas dina bahan mémbran. Salaku conto, suhu kawat panas naék teuing gancang, bahan mémbran henteu gampang langsung ngalembereh sadaya bahan mémbran sareng baseuhna kawat panas henteu cekap. Hasilna, pilem anu teu lebur tiasa murag tina karanjang kawat. Dina waktos anu sami, naékna suhu anu gancang teuing ogé bakal nyababkeun bahan mémbran dina gas dileupaskeun gancang, ngahasilkeun gelembung atanapi cipratan, hasilna bakal ngajantenkeun formasi tetesan leutik nempel kana substrat. Ku alatan éta, sumber filamén kedah dianggo kalayan kontrol suhu.
Kakurangan utama tina karanjang kawat, gulungan kerucut atanapi gulungan spiral nyaéta jumlah bahan pilem pendukungna sakedik teuing, sareng sumber ieu bakal nyababkeun suhu kawat panas naék nalika jumlah bahan pilem nurun saatos bahan pilem nguap, sahingga nyababkeun laju penguapan naék. Ieu ogé masalah anu kedah diperhatoskeun pikeun prosés pembuatan pilem anu meryogikeun kontrol anu ketat kana laju penguapan.
(2) Prinsip kerja sareng struktur bentuk sareng ciri panggunaan
Sumber penguapan pemanasan résistansi, saleresna, nyaéta pemanas résistansi anu dianggo pikeun ngagunakeun generator panas atanapi parahu penguapan anu langsung diénergikeun, supados arus ngalangkungan sajumlah ageung panas Joule sareng kéngingkeun suhu anu luhur pikeun ngalemberehkeun bahan pilem logam, supados penguapanna mangrupikeun sumber penguapan.
–Tulisan ieu dipedalkeun kuprodusén mesin palapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktos posting: 23-Peb-2024