Dirençli ısıtma buharlaştırma kaynağının yapısı basit, kullanımı ve yapımı kolaydır ve en yaygın kullanılan buharlaştırma kaynağı türüdür. İnsanlar genellikle buna ısı jeneratörü veya buharlaştırma teknesi derler.
Kullanılan direnç malzemesinin ısıtma gereksinimleri şunlardır: yüksek sıcaklık, direnç, yüksek sıcaklıklarda düşük buhar basıncı, membran malzeme ile kimyasal reaksiyona girmemesi, gaz salınımı ve kirlilik üretmemesi. Seçilen dirençli ısıtma malzemeleri esas olarak W, Mo, Ta gibi refrakter metallerden veya yüksek saflıkta, yüksek mukavemetli grafit veya bor nitrür sentetik iletken seramikler ve diğer malzemelerden seçilir. Bazen, buharlaştırma kaynağı malzemesi olarak Fe, Ni, Ni-Cr alaşımı ve Pt de seçilebilir.
Çeşitli dirençli ısıtma buharlaştırma kaynaklarının (Ti, Mo, C, Ta, W vb. gibi) erime noktası, buhar basıncı ve sıcaklık ilişkisi eğrileri farklıdır. Bunlar arasında tungsten, ısıtma bağlantı ürünü nedeniyle buharlaşma sıcaklığına ısıtıldığında kırılgan hale gelir. Öte yandan molibden, saflık bakımından farklılık gösterir; bazıları kırılgan hale gelirken bazıları gelmez. Tungsten, su buharı ile reaksiyona girerek uçucu oksijen bileşiği WO3 oluşturur.
Bu nedenle, tungsten artık su buharında ısıtıldığında, ısıtılan malzeme sürekli olarak azalır. Artık gaz basıncı düşük olduğunda, malzeme kaybı fazla olmaz, ancak bu durum membranın ciddi şekilde kirlenmesine yol açar.
Filamentli kaynakların kullanımında, sıcak telin membran malzeme üzerindeki ıslatma özelliğine dikkat edilmelidir. Örneğin, sıcak tel sıcaklığı çok hızlı yükselirse, membran malzemenin tamamı hemen erimez ve sıcak telin ıslatması yeterli olmaz. Sonuç olarak, erimeyen film tel sepetinden düşebilir. Aynı zamanda, sıcaklık artışının çok hızlı olması, membran malzemesindeki gazın hızla salınmasına, kabarcık veya sıçramaya neden olur ve sonuç olarak küçük damlacıkların alt tabakaya yapışmasına yol açar. Bu nedenle, filamentli kaynaklar sıcaklık kontrolü ile kullanılmalıdır.
Tel sepetlerin, konik bobinlerin veya spiral bobinlerin en büyük dezavantajı, destekleyici film malzemesinin miktarının çok az olmasıdır ve bu durum, film malzemesi buharlaştıktan sonra film malzemesi miktarı azaldıkça sıcak telin sıcaklığının yükselmesine ve dolayısıyla buharlaşma hızının artmasına neden olur. Bu durum, buharlaşma hızının sıkı kontrolünü gerektiren film yapım süreci için de dikkate alınması gereken bir sorundur.
(2) Çalışma prensibi ve yapısal şekil ve kullanım özelliği
Dirençli ısıtma buharlaştırma kaynağı, aslında bir ısı jeneratörü veya buharlaştırma teknesinin doğrudan enerjilendirilmesiyle çalışan bir tür buharlaştırma kaynağıdır. Bu sayede, akım büyük miktarda Joule ısı üretir ve yüksek sıcaklıkta metal film malzemesini eriterek buharlaşmasını sağlar.
Bu makale şu kuruluş tarafından yayınlanmıştır:vakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua
Yayın tarihi: 23 Şubat 2024