Struktur sumber penguapan pemanas resistansi sederhana, mudah digunakan, mudah dibuat, dan merupakan jenis sumber penguapan yang paling banyak digunakan. Orang biasanya menyebutnya generator panas atau perahu penguapan.
Persyaratan pemanasan material resistansi yang digunakan adalah: suhu tinggi, resistivitas tinggi, tekanan uap rendah pada suhu tinggi, tidak bereaksi secara kimia dengan material membran, tidak menghasilkan pelepasan gas dan polusi. Material pemanas resistansi yang dipilih terutama berasal dari logam tahan api, seperti W, Mo, Ta dan material lainnya atau pilihan grafit kemurnian tinggi dan kekuatan tinggi atau keramik konduktif sintetis boron nitrida dan material lainnya. Terkadang, dapat juga memilih Fe, Ni, paduan Ni-Cr dan Pt sebagai material sumber penguapan.
Berbagai sumber penguapan pemanasan resistansi dari bahan umum (seperti Ti, Mo, C, Ta, W, dll.) memiliki titik leleh dan kurva hubungan tekanan uap dan suhu yang berbeda. Di antaranya, tungsten menjadi rapuh ketika dipanaskan hingga suhu penguapan karena produk sambungan pemanasan. Molibdenum, di sisi lain, bervariasi dalam kemurniannya, ada yang menjadi rapuh dan ada yang tidak. Tungsten bereaksi dengan uap air membentuk senyawa oksigen volatil WO3.
Oleh karena itu, ketika tungsten dipanaskan dalam uap air sisa, material yang dipanaskan terus berkurang. Ketika tekanan gas sisa rendah, tidak banyak kehilangan material, tetapi hal itu merupakan kontaminasi serius pada membran.
Penggunaan sumber filamen harus memperhatikan pembasahan kawat panas pada bahan membran. Misalnya, jika suhu kawat panas naik terlalu cepat, bahan membran tidak mudah langsung meleleh seluruhnya dan pembasahan kawat panas tidak cukup. Akibatnya, lapisan yang tidak meleleh dapat terlepas dari keranjang kawat. Pada saat yang sama, kenaikan suhu yang terlalu cepat juga akan menyebabkan bahan membran melepaskan gas dengan cepat, sehingga menghasilkan gelembung atau percikan, yang mengakibatkan terbentuknya tetesan kecil yang menempel pada substrat. Oleh karena itu, sumber filamen harus digunakan dengan kontrol suhu.
Kelemahan utama dari keranjang kawat, kumparan kerucut, atau kumparan spiral adalah jumlah bahan film pendukung yang terlalu kecil, dan sumber ini akan menyebabkan suhu kawat panas meningkat seiring dengan berkurangnya jumlah bahan film setelah bahan film menguap, sehingga menyebabkan laju penguapan meningkat. Ini juga merupakan masalah yang perlu diperhatikan untuk proses pembuatan film yang membutuhkan kontrol ketat terhadap laju penguapan.
(2) Prinsip kerja dan bentuk struktur serta karakteristik penggunaan
Sumber penguapan pemanas resistansi, sebenarnya, adalah pemanas resistansi yang menggunakan generator panas atau wadah penguapan yang diberi energi langsung, sehingga arus yang mengalir menghasilkan sejumlah besar panas Joule dan mencapai suhu tinggi untuk melelehkan material film logam, sehingga terjadi penguapan.
–Artikel ini dirilis olehprodusen mesin pelapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktu posting: 23 Februari 2024