La source d'évaporation à chauffage par résistance est de structure simple, facile à utiliser et à fabriquer ; c'est le type de source d'évaporation le plus répandu. On l'appelle généralement générateur de chaleur ou bateau d'évaporation.
Les exigences relatives au matériau de résistance utilisé pour le chauffage sont les suivantes : résistance aux hautes températures, résistivité élevée, faible pression de vapeur à haute température, absence de réaction chimique avec le matériau de la membrane, et absence de dégazage et de pollution. Les matériaux de résistance sélectionnés sont principalement des métaux réfractaires, tels que le tungstène (W), le molybdène (Mo) et le tantale (Ta), ou des céramiques conductrices synthétiques de haute pureté et haute résistance, comme le graphite ou le nitrure de bore. Dans certains cas, le fer (Fe), le nickel (Ni), les alliages Ni-Cr et le platine (Pt) peuvent également être utilisés comme matériau de dépôt par évaporation.
Les courbes de point de fusion, de pression de vapeur et de température varient selon la source de chauffage par résistance utilisée pour l'évaporation de matériaux courants (tels que Ti, Mo, C, Ta, W, etc.). Parmi eux, le tungstène devient cassant lorsqu'il est chauffé jusqu'à sa température d'évaporation en raison des produits de la jonction chauffante. Le molybdène, quant à lui, présente une fragilité variable selon sa pureté. Le tungstène réagit avec la vapeur d'eau pour former un composé oxygéné volatil, le WO₃.
Par conséquent, lorsque le tungstène est chauffé dans de la vapeur d'eau résiduelle, la matière chauffée se consume continuellement. Lorsque la pression du gaz résiduel est faible, la perte de matière est minime, mais la membrane est fortement contaminée.
Lors de l'utilisation de sources à filament, il convient de veiller à un bon mouillage du matériau membranaire par le fil chauffant. Par exemple, une montée en température trop rapide du fil chauffant peut empêcher la fusion complète et immédiate du matériau membranaire et entraîner un mouillage insuffisant. De ce fait, le film non fondu risque de se détacher du panier. Par ailleurs, une montée en température trop rapide provoque également un dégagement gazeux trop rapide du matériau membranaire, ce qui peut engendrer des bulles ou des projections et, par conséquent, la formation de fines gouttelettes adhérant au substrat. Il est donc indispensable d'utiliser des sources à filament avec un système de contrôle de la température.
Le principal inconvénient des paniers métalliques, des bobines coniques ou spirales réside dans la faible quantité de film support. Cette faible quantité entraîne une hausse de la température du fil chauffant, car la quantité de film diminue après évaporation, ce qui accélère l'évaporation. Il est donc important de prendre en compte ce problème lors de la fabrication de films nécessitant un contrôle précis du taux d'évaporation.
(2) Principe de fonctionnement, structure, forme et caractéristiques d'utilisation
La source d'évaporation par chauffage par résistance est en fait un élément chauffant à résistance qui utilise un générateur de chaleur ou un bateau d'évaporation directement alimenté, de sorte que le courant traverse un grand nombre de sources de chaleur par effet Joule et atteint une température élevée pour faire fondre le matériau du film métallique, de sorte que son évaporation constitue une sorte de source d'évaporation.
–Cet article est publié parfabricant de machines de revêtement sous videGuangdong Zhenhua
Date de publication : 23 février 2024