Struktur sumber penguapan pemanas resistensi iku prasaja, gampang digunakake, gampang digawe, lan minangka salah sawijining jinis sumber penguapan sing paling akeh digunakake. Wong biasane diarani generator panas utawa prau penguapan.
Syarat-syarat pemanasan bahan resistensi sing digunakake yaiku: suhu dhuwur, resistivitas, tekanan uap endhek ing suhu dhuwur, ora ana reaksi kimia karo bahan membran, ora ngasilake gas metu lan polusi. Bahan pemanasan resistensi sing dipilih utamane saka logam refraktori, kayata W, Mo, Ta lan bahan liyane utawa pilihan keramik konduktif sintetis grafit utawa boron nitrida kanthi kemurnian dhuwur lan kekuatan dhuwur lan bahan liyane. Kadhangkala, uga bisa milih Fe, Ni, paduan Ni-Cr lan Pt minangka bahan sumber penguapan.
Maneka warna sumber penguapan saka bahan umum (kayata Ti, Mo, C, Ta, W, lan liya-liyane) nduweni kurva hubungan titik leleh lan tekanan uap lan suhu sing beda-beda. Antarane, tungsten dadi rapuh nalika dipanasake nganti suhu penguapan amarga produk sambungan pemanasan. Molibdenum, ing sisih liya, beda-beda kemurniane, ana sing dadi rapuh lan ana sing ora. Tungsten reaksi karo uap banyu kanggo mbentuk senyawa oksigen sing gampang nguap WO3.
Mulane, nalika tungsten dipanasake ing uap banyu sing isih ana, bahan sing dipanasake terus entek. Nalika tekanan gas sing isih ana kurang, ora ana akeh kerugian materi, nanging iki minangka kontaminasi membran sing serius.
Panggunaan sumber filamen kudu nggatekake pembasahan kawat panas ing bahan membran. Contone, suhu kawat panas mundhak cepet banget, bahan membran ora gampang langsung nglelehke kabeh bahan membran lan pembasahan kawat panas ora cukup. Akibate, film sing durung leleh bisa tiba saka kranjang kawat. Ing wektu sing padha, kenaikan suhu sing cepet banget uga bakal nyebabake bahan membran ing gas kasebut cepet metu, sing nyebabake gelembung utawa cipratan, sing bakal nggawe pembentukan tetesan cilik nempel ing substrat. Mulane, sumber filamen kudu digunakake kanthi kontrol suhu.
Kekurangan utama saka kranjang kawat, gulungan kerucut utawa gulungan spiral yaiku jumlah bahan film pendukung sing sithik banget, lan sumber iki bakal nyebabake suhu kawat panas mundhak amarga jumlah bahan film mudhun sawise bahan film nguap, saengga nyebabake tingkat penguapan mundhak. Iki uga minangka masalah sing kudu digatekake kanggo proses nggawe film sing mbutuhake kontrol tingkat penguapan sing ketat.
(2) Prinsip kerja lan struktur wujud lan ciri panggunaan
Sumber penguapan pemanasan resistensi, nyatane, yaiku pemanas resistensi sing nggunakake generator panas utawa prau penguapan sing langsung diuripake, saengga arus liwat akeh panas Joule lan entuk suhu dhuwur kanggo nyawiji bahan film logam, saengga penguapan kasebut minangka sumber penguapan.
-Artikel iki diterbitake deningprodusen mesin lapisan vakumGuangdong Zhenhua
Wektu kiriman: 23 Februari 2024