Welkom bij Guangdong Zhenhua Technology Co.,Ltd.
single_banner

Kenmerken, eisen en materiaalkeuze van weerstandsverwarmingsverdampingsbronnen

Artikelbron: Zhenhua Vacuum
Lees: 10
Gepubliceerd: 24-02-23

De structuur van een weerstandsverwarmingsverdampingsbron is eenvoudig, gebruiksvriendelijk en gemakkelijk te maken. Het is de meest gebruikte verdampingsbron. Het wordt vaak een warmtegenerator of verdampingsboot genoemd.

大图

Voor het verwarmen van verwarmingselementen gelden de volgende eisen aan het gebruikte weerstandsmateriaal: hoge temperatuur, hoge soortelijke weerstand, lage dampdruk bij hoge temperaturen, geen chemische reactie met het membraanmateriaal, geen gasvorming en geen vervuiling. De gekozen materialen voor weerstandsverwarming zijn voornamelijk vuurvaste metalen, zoals wolfraam (W), molybdeen (Mo), tantaal (Ta) en andere materialen, of hoogwaardige, zeer sterke materialen zoals grafiet of boornitride, synthetische geleidende keramiek en andere materialen. Soms worden ook ijzer (Fe), nikkel (Ni), nikkel-chroomlegeringen en platina (Pt) als verdampingsbronmateriaal gebruikt.

Bij verschillende weerstandsverwarmingsbronnen voor de verdamping van gangbare materialen (zoals Ti, Mo, C, Ta, W, enz.) is de relatie tussen smeltpunt, dampdruk en temperatuur verschillend. Wolfraam wordt bijvoorbeeld bros bij verhitting tot de verdampingstemperatuur vanwege de vorming van verhittingsproducten. Molybdeen daarentegen varieert in zuiverheid, waarbij sommige soorten bros worden en andere niet. Wolfraam reageert met waterdamp en vormt daarbij de vluchtige zuurstofverbinding WO3.

Wanneer wolfraam in restwaterdamp wordt verhit, neemt het verhitte materiaal dus continu af. Bij een lage restgasdruk is er weinig materiaalverlies, maar dit leidt wel tot ernstige verontreiniging van het membraan.

Bij het gebruik van gloeidraadbronnen moet aandacht worden besteed aan de bevochtiging van het membraanmateriaal door de gloeidraad. Als de temperatuur van de gloeidraad bijvoorbeeld te snel stijgt, smelt het membraanmateriaal niet direct volledig en is de bevochtiging onvoldoende. Hierdoor kan de ongesmolten film uit de draadkorf vallen. Tegelijkertijd kan een te snelle temperatuurstijging ervoor zorgen dat het gas in het membraanmateriaal snel vrijkomt, wat leidt tot bubbels of spatten. Dit resulteert in de vorming van kleine druppeltjes die aan het substraat blijven kleven. Daarom is het belangrijk om gloeidraadbronnen met temperatuurregeling te gebruiken.

Het grootste nadeel van draadmanden, conische spoelen of spiraalvormige spoelen is dat de hoeveelheid ondersteunend filmmateriaal te klein is. Hierdoor stijgt de temperatuur van de gloeidraad naarmate de hoeveelheid filmmateriaal afneemt na verdamping, wat de verdampingssnelheid verhoogt. Dit is een probleem dat ook in het filmproductieproces, waarbij een nauwkeurige controle van de verdampingssnelheid vereist is, in acht moet worden genomen.

(2) Het werkingsprincipe en de structuurvorm en gebruikskenmerken

Een weerstandsverwarmingsbron voor verdamping is in feite een verwarmingselement dat gebruikmaakt van een direct van stroom voorziene warmtegenerator of verdamper, waardoor een grote hoeveelheid Joule-warmte door het materiaal loopt en een hoge temperatuur bereikt om het metaalfilmmateriaal te smelten. Op deze manier vindt verdamping plaats.

–Dit artikel is gepubliceerd doorfabrikant van vacuümcoatingmachinesGuangdong Zhenhua


Geplaatst op: 23 februari 2024