저항 가열식 증발 장치는 구조가 간단하고 사용 및 제작이 용이하여 가장 널리 사용되는 증발 장치 중 하나입니다. 일반적으로 열 발생기 또는 증발 보트라고 부릅니다.
사용되는 저항 가열 재료의 요구 사항은 고온 내성, 높은 저항률, 고온에서의 낮은 증기압, 막 재료와의 화학 반응 없음, 가스 방출 및 오염 물질 발생 없음입니다. 주로 W, Mo, Ta 등의 내화 금속이나 고순도 고강도 흑연 또는 질화붕소 합성 전도성 세라믹 등의 저항 가열 재료를 선택할 수 있습니다. 경우에 따라 Fe, Ni, Ni-Cr 합금 및 Pt를 증발 소스 재료로 사용할 수도 있습니다.
티타늄, 몰리브덴, 탄소, 탄탈륨, 텅스텐 등과 같은 일반적인 재료의 다양한 저항 가열 증발원은 융점과 증기압 및 온도 관계 곡선이 서로 다릅니다. 그중 텅스텐은 가열 접합 생성물 때문에 증발 온도까지 가열하면 취성이 생깁니다. 몰리브덴은 순도에 따라 취성이 생기는 것도 있고 그렇지 않은 것도 있습니다. 텅스텐은 수증기와 반응하여 휘발성 산소 화합물인 WO₃를 생성합니다.
따라서 텅스텐을 잔류 수증기 중에서 가열하면 가열된 물질이 지속적으로 소모됩니다. 잔류 가스 압력이 낮으면 물질 손실은 크지 않지만 막 오염이 심각해집니다.
필라멘트형 열원을 사용할 때는 열선이 막 재료를 충분히 적시는 데 주의해야 합니다. 예를 들어, 열선 온도가 너무 빨리 상승하면 막 재료가 즉시 완전히 녹지 않아 열선이 충분히 적셔지지 않습니다. 결과적으로 녹지 않은 막이 열선 바구니에서 떨어져 나갈 수 있습니다. 또한, 온도가 너무 빨리 상승하면 막 재료 내의 가스가 급격하게 방출되어 기포가 발생하거나 튀어 오르고, 결과적으로 작은 물방울이 기판에 달라붙을 수 있습니다. 따라서 필라멘트형 열원은 온도 조절 기능이 있는 제품을 사용해야 합니다.
와이어 바스켓, 원추형 코일 또는 나선형 코일의 주요 단점은 지지 필름 재료의 양이 너무 적다는 것입니다. 이로 인해 필름 재료가 증발된 후 필름 재료의 양이 줄어들면서 열선의 온도가 상승하고, 결과적으로 증발 속도가 빨라집니다. 이는 증발 속도를 엄격하게 제어해야 하는 필름 제조 공정에서 특히 유의해야 할 문제입니다.
(2) 작동 원리, 구조 형태 및 사용 특성
저항 가열 증발 소스는 실제로 저항 히터를 사용하는 것으로, 열 발생기 또는 증발 보트에 직접 전원을 공급하여 전류를 통해 많은 줄열을 발생시켜 고온으로 금속 박막 재료를 녹여 증발시키는 일종의 증발 소스입니다.
이 기사는 다음에서 발표했습니다.진공 코팅기 제조업체광둥진화
게시 시간: 2024년 2월 23일