रेझिस्टन्स हीटिंग इव्हॅपोरेशन सोर्सची रचना साधी, वापरायला सोपी आणि बनवायला सोपी असून, तो सर्वाधिक वापरल्या जाणाऱ्या बाष्पीभवन स्रोतांपैकी एक आहे. लोक याला सामान्यतः हीट जनरेटर किंवा इव्हॅपोरेशन बोट असेही म्हणतात.
वापरल्या जाणाऱ्या प्रतिरोधक पदार्थाच्या उष्णताविषयक आवश्यकता खालीलप्रमाणे आहेत: उच्च तापमान, रोधकता, उच्च तापमानात कमी बाष्प दाब, पडदा पदार्थासोबत कोणतीही रासायनिक अभिक्रिया न होणे, आणि वायू उत्सर्जन व प्रदूषण न होणे. निवडलेले उष्णतारोधक पदार्थ प्रामुख्याने टंगस्टन (W), मॉलिब्डेनम (Mo), टँटॅलियम (Ta) यांसारख्या उच्च तापमान सहन करणाऱ्या धातूंपासून किंवा उच्च-शुद्धता, उच्च-शक्तीचे ग्रॅफाइट किंवा बोरॉन नायट्राइडपासून बनवलेल्या संश्लेषित प्रवाहकीय सिरॅमिक्स आणि इतर पदार्थांपासून निवडले जातात. काहीवेळा, बाष्पीभवन स्रोत पदार्थ म्हणून लोह (Fe), निकेल (Ni), निकेल-क्रोमियम (Ni-Cr) मिश्रधातू आणि प्लॅटिनम (Pt) यांचीही निवड केली जाऊ शकते.
सामान्य पदार्थांच्या (जसे की Ti, Mo, C, Ta, W, इत्यादी) विविध प्रतिरोधक उष्णता बाष्पीभवन स्रोतांमध्ये वितळणबिंदू आणि बाष्प दाब व तापमान यांच्यातील संबंधाचे वक्र वेगवेगळे असतात. त्यांपैकी, टंगस्टन बाष्पीभवन तापमानापर्यंत गरम केल्यावर उष्णता-संयुक्त उत्पादनामुळे ठिसूळ होतो. याउलट, मॉलिब्डेनमच्या शुद्धतेमध्ये विविधता आढळते, त्यातील काही ठिसूळ होतात तर काही होत नाहीत. टंगस्टन पाण्याच्या वाफेसोबत अभिक्रिया करून बाष्पशील ऑक्सिजन संयुग WO3 तयार करतो.
त्यामुळे, जेव्हा टंगस्टनला अवशिष्ट पाण्याच्या वाफेत तापवले जाते, तेव्हा तापलेल्या पदार्थाचा सतत क्षय होत राहतो. जेव्हा अवशिष्ट वायूचा दाब कमी असतो, तेव्हा पदार्थाची फारशी हानी होत नाही, परंतु त्यामुळे पडद्याचे (मेम्ब्रेनचे) गंभीर प्रदूषण होते.
फिलामेंटरी स्रोतांचा वापर करताना, मेम्ब्रेन मटेरियलवर हॉट वायरच्या वेटिंगकडे लक्ष दिले पाहिजे. उदाहरणार्थ, जर हॉट वायरचे तापमान खूप वेगाने वाढले, तर मेम्ब्रेन मटेरियल लगेच पूर्णपणे वितळत नाही आणि हॉट वायरचे वेटिंग पुरेसे होत नाही. परिणामी, न वितळलेला थर वायर बास्केटमधून बाहेर पडू शकतो. त्याच वेळी, तापमान खूप वेगाने वाढल्यास मेम्ब्रेन मटेरियलमधील वायू वेगाने बाहेर पडतो, ज्यामुळे बुडबुडे किंवा शिडकावा होतो आणि परिणामी सब्सट्रेटला चिकटणारे लहान थेंब तयार होतात. म्हणून, फिलामेंट स्रोतांचा वापर तापमान नियंत्रणासह केला पाहिजे.
वायर बास्केट, शंकूच्या आकाराच्या कॉइल्स किंवा सर्पिलाकार कॉइल्सचा मुख्य तोटा हा आहे की, आधारभूत फिल्म मटेरियलचे प्रमाण खूप कमी असते. फिल्म मटेरियलचे बाष्पीभवन झाल्यानंतर त्याचे प्रमाण कमी झाल्यामुळे, या कारणामुळे हॉट वायरचे तापमान वाढते आणि परिणामी बाष्पीभवनाचा दर वाढतो. ज्या फिल्म निर्मिती प्रक्रियेमध्ये बाष्पीभवनाच्या दरावर काटेकोर नियंत्रण आवश्यक असते, त्या प्रक्रियेसाठी ही एक लक्षात घेण्यासारखी समस्या आहे.
(2) कार्यतत्त्व आणि संरचनेचा आकार आणि वापराची वैशिष्ट्ये
रेझिस्टन्स हीटिंग इव्हॅपोरेशन सोर्स म्हणजे एक प्रकारचा रेझिस्टन्स हीटर, जो उष्णता जनरेटर किंवा इव्हॅपोरेशन बोटला थेट ऊर्जा देऊन चालतो. त्यामुळे विद्युत प्रवाहातून मोठ्या प्रमाणात जूल उष्णता निर्माण होते आणि उच्च तापमानामुळे धातूचा थर वितळतो, ज्यामुळे त्याचे बाष्पीभवन होते.
हा लेख यांनी प्रसिद्ध केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन उत्पादकग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट करण्याची वेळ: २३ फेब्रुवारी २०२४