La estructura de la fuente de evaporación por calentamiento por resistencia es simple, fácil de usar y fácil de fabricar, y es el tipo de fuente de evaporación más utilizado. La gente suele llamarla generador de calor o vaporizador.
Los requisitos de calentamiento del material resistivo utilizado son: alta temperatura, resistividad, baja presión de vapor a altas temperaturas, ausencia de reacción química con el material de la membrana y ausencia de desgasificación y contaminación. Los materiales de calentamiento resistivo seleccionados son principalmente metales refractarios, como W, Mo, Ta y otros, o bien grafito de alta pureza y resistencia, cerámicas conductoras sintéticas de nitruro de boro y otros materiales. En ocasiones, también se puede elegir Fe, Ni, aleación de Ni-Cr y Pt como material fuente de evaporación.
Diversas fuentes de evaporación por calentamiento por resistencia de materiales comunes (como Ti, Mo, C, Ta, W, etc.) presentan diferentes curvas de relación entre el punto de fusión, la presión de vapor y la temperatura. Entre ellos, el tungsteno se vuelve quebradizo al calentarse hasta la temperatura de evaporación debido a la formación de productos de unión por calentamiento. El molibdeno, por otro lado, varía en pureza, siendo algunos materiales que se vuelven quebradizos y otros no. El tungsteno reacciona con el vapor de agua para formar el compuesto volátil de oxígeno WO3.
Por lo tanto, cuando el tungsteno se calienta en presencia de vapor de agua residual, el material calentado se consume continuamente. Si la presión del gas residual es baja, la pérdida de material es mínima, pero se produce una grave contaminación de la membrana.
Al utilizar fuentes de filamento, es importante prestar atención a la humectación del filamento caliente sobre el material de la membrana. Por ejemplo, si la temperatura del filamento aumenta demasiado rápido, el material de la membrana no se funde completamente de inmediato y la humectación del filamento es insuficiente. Como resultado, la película sin fundir puede desprenderse de la cesta del filamento. Asimismo, un aumento de temperatura demasiado rápido también provocará la liberación prematura del gas en el material de la membrana, generando burbujas o salpicaduras, lo que dará lugar a la formación de pequeñas gotas que se adhieren al sustrato. Por lo tanto, es fundamental utilizar fuentes de filamento con control de temperatura.
La principal desventaja de las cestas de alambre, las bobinas cónicas o las bobinas espirales es que la cantidad de material de soporte de la película es demasiado pequeña. Esto provoca que la temperatura del alambre caliente aumente a medida que disminuye la cantidad de material de la película tras su evaporación, lo que incrementa la velocidad de evaporación. Este es un problema que también debe tenerse en cuenta en el proceso de fabricación de películas, que requiere un control estricto de la velocidad de evaporación.
(2) El principio de funcionamiento y la forma de la estructura y las características de uso
La fuente de evaporación por calentamiento por resistencia, de hecho, es un calentador de resistencia que utiliza un generador de calor o una barquilla de evaporación energizada directamente, de modo que la corriente a través de una gran cantidad de calor Joule y alcanza una alta temperatura para fundir el material de película metálica, de modo que su evaporación es un tipo de fuente de evaporación.
–Este artículo es publicado porfabricante de máquinas de recubrimiento al vacíoGuangdong Zhenhua
Fecha de publicación: 23 de febrero de 2024