রেজিস্ট্যান্স হিটিং ইভাপোরেশন সোর্সের গঠন সরল, ব্যবহারে সহজ এবং তৈরি করাও সহজ, এবং এটি সবচেয়ে বহুল ব্যবহৃত এক ধরনের ইভাপোরেশন সোর্স। একে সাধারণত হিট জেনারেটর বা ইভাপোরেশন বোট বলা হয়।
ব্যবহৃত রোধক উপাদানের উত্তাপের জন্য প্রয়োজনীয়তাগুলো হলো: উচ্চ তাপমাত্রা, রোধকত্ব, উচ্চ তাপমাত্রায় কম বাষ্পচাপ, ঝিল্লি উপাদানের সাথে কোনো রাসায়নিক বিক্রিয়া না করা, এবং গ্যাস নির্গমন ও দূষণ সৃষ্টি না করা। নির্বাচিত রোধক উত্তাপক উপাদানগুলো প্রধানত তাপসহনশীল ধাতু, যেমন W, Mo, Ta এবং অন্যান্য উপাদান থেকে অথবা উচ্চ-বিশুদ্ধ, উচ্চ-শক্তির গ্রাফাইট বা বোরন নাইট্রাইড সংশ্লেষিত পরিবাহী সিরামিক এবং অন্যান্য উপাদান থেকে নেওয়া হয়। কখনও কখনও, বাষ্পীভবন উৎস উপাদান হিসেবে Fe, Ni, Ni-Cr সংকর ধাতু এবং Pt-ও বেছে নেওয়া যেতে পারে।
বিভিন্ন রোধীয় তাপীয় বাষ্পীভবনের ফলে সাধারণ পদার্থগুলোর (যেমন টাইটানিয়াম, মলিবডেনাম, কার্বন, ট্যান্টালাম, টাংস্টেন ইত্যাদি) গলনাঙ্ক এবং বাষ্পচাপ ও তাপমাত্রার সম্পর্ক রেখাচিত্র ভিন্ন হয়। এদের মধ্যে, টাংস্টেন বাষ্পীভবন তাপমাত্রায় উত্তপ্ত হলে তাপীয় সংযোগস্থলের উৎপাদের কারণে ভঙ্গুর হয়ে যায়। অন্যদিকে, মলিবডেনামের বিশুদ্ধতার ভিন্নতার কারণে এর কোনো কোনোটি ভঙ্গুর হয়, আবার কোনোটি হয় না। টাংস্টেন জলীয় বাষ্পের সাথে বিক্রিয়া করে উদ্বায়ী অক্সিজেন যৌগ WO3 গঠন করে।
সুতরাং, যখন টাংস্টেনকে অবশিষ্ট জলীয় বাষ্পে উত্তপ্ত করা হয়, তখন উত্তপ্ত পদার্থ ক্রমাগত ক্ষয় হতে থাকে। যখন অবশিষ্ট গ্যাসের চাপ কম থাকে, তখন পদার্থের তেমন ক্ষতি হয় না, কিন্তু এটি মেমব্রেনের জন্য একটি গুরুতর দূষণ।
ফিলামেন্টারি সোর্স ব্যবহারের সময় মেমব্রেন মেটেরিয়ালের উপর হট ওয়্যারের ওয়েটিং বা ভেজানোর দিকে মনোযোগ দেওয়া উচিত। উদাহরণস্বরূপ, হট ওয়্যারের তাপমাত্রা খুব দ্রুত বাড়লে মেমব্রেন মেটেরিয়ালটি সঙ্গে সঙ্গে পুরোপুরি গলে যায় না এবং হট ওয়্যারের ওয়েটিংও যথেষ্ট হয় না। এর ফলে, না-গলা ফিল্ম ওয়্যার বাস্কেট থেকে খসে পড়তে পারে। একই সাথে, তাপমাত্রা খুব দ্রুত বাড়লে মেমব্রেন মেটেরিয়ালের ভেতরের গ্যাসও দ্রুত নির্গত হয়, যার ফলে বুদবুদ তৈরি হতে পারে বা ছিটকে পড়তে পারে, এবং এর ফলস্বরূপ সাবস্ট্রেটের গায়ে ছোট ছোট ফোঁটা আটকে যায়। তাই, ফিলামেন্ট সোর্স ব্যবহারের সময় তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা উচিত।
তারের ঝুড়ি, শঙ্কু আকৃতির কয়েল বা সর্পিল কয়েলের প্রধান অসুবিধা হলো, এতে সহায়ক ফিল্ম উপাদানের পরিমাণ খুব কম থাকে। এর ফলে, ফিল্ম উপাদান বাষ্পীভূত হওয়ার পর এর পরিমাণ কমে যাওয়ায় উত্তপ্ত তারের তাপমাত্রা বেড়ে যায়, যা বাষ্পীভবনের হার বৃদ্ধি করে। যেসব ফিল্ম তৈরির প্রক্রিয়ায় বাষ্পীভবনের হার কঠোরভাবে নিয়ন্ত্রণ করা প্রয়োজন, তাদের জন্যও এটি একটি লক্ষণীয় সমস্যা।
(2) কার্যপ্রণালী এবং গঠন আকৃতি এবং ব্যবহারের বৈশিষ্ট্য
রোধ তাপীয় বাষ্পীভবন উৎস আসলে এক প্রকার রোধ হিটার, যা একটি তাপ উৎপাদক বা বাষ্পীভবন পাত্রকে সরাসরি শক্তি প্রদান করে। এর ফলে, বিদ্যুৎ প্রবাহের মাধ্যমে বিপুল পরিমাণ জুল তাপ উৎপন্ন হয়ে ধাতব ফিল্ম জাতীয় পদার্থকে গলিয়ে উচ্চ তাপমাত্রায় পৌঁছায়, যা এর বাষ্পীভবনের একটি উৎস হিসেবে কাজ করে।
–এই নিবন্ধটি প্রকাশ করেছেভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্ট করার সময়: ২৩ ফেব্রুয়ারি, ২০২৪