Каршылык көрсөтүүчү жылытуучу буулануу булагынын түзүлүшү жөнөкөй, колдонууга оңой, жасоого оңой жана эң кеңири колдонулган бир түрдүү буулануу булагынын түрү болуп саналат. Адамдар көбүнчө жылуулук генератору же буулануу кайыгы деп аташат.
Колдонулган каршылык материалын жылытуу талаптары: жогорку температура, каршылык, жогорку температурада буу басымынын төмөндүгү, мембрана материалы менен химиялык реакцияга кирбейт, газдын бөлүнүп чыгышына жана булганууга алып келбейт. Тандалган каршылык жылытуу материалдары негизинен W, Mo, Ta жана башка отко чыдамдуу металлдардан же жогорку тазалыктагы, жогорку күчтүү графит же бор нитриди сыяктуу синтетикалык өткөргүч керамика жана башка материалдардан жасалат. Кээде буулануу булагы катары Fe, Ni, Ni-Cr эритмесин жана Pt тандалат.
Ар кандай кеңири таралган материалдардын (мисалы, Ti, Mo, C, Ta, W ж.б.) эрүү температурасынын жана буу басымынын жана температуранын байланыш ийри сызыгынын ысытууга каршылыгы ар башка. Алардын арасында вольфрам буулануу температурасына чейин ысытылганда ысытуу түйүнүнүн продуктусунан улам морт болуп калат. Ал эми молибдендин тазалыгы ар кандай болот, айрымдары морт болуп калат, башкалары морт болбойт. Вольфрам суу буусу менен реакцияга кирип, WO3 учуучу кычкылтек кошулмасын пайда кылат.
Ошондуктан, вольфрам калдык суу буусунда ысытылганда, ысытылган материал тынымсыз түгөнөт. Калдык газ басымы төмөн болгондо, материалдык жоготуу көп болбойт, бирок бул мембрананын олуттуу булганышы.
Жипчелүү булактарды колдонууда мембрана материалындагы ысык зымдын сууланышына көңүл буруу керек. Мисалы, ысык зымдын температурасы өтө тез көтөрүлүп, мембрана материалы мембрана материалынын баарын дароо эритип жибербейт жана ысык зымды суулоо жетишсиз. Натыйжада, эрибеген пленка зым себеттен түшүп калышы мүмкүн. Ошол эле учурда, температуранын өтө тез көтөрүлүшү мембрана материалындагы газдын тез бөлүнүп чыгышына алып келет, натыйжада көбүкчөлөр же чачырагандар пайда болот, натыйжада майда тамчылардын пайда болушу субстратка жабышып калат. Ошондуктан, жипчелүү булактарды температураны көзөмөлдөө менен колдонуу керек.
Зым себеттердин, конус сымал катушкалардын же спираль катушкалардын негизги кемчилиги - көтөрүүчү пленка материалынын көлөмү өтө аз, жана бул булак пленка материалы буулангандан кийин пленка материалынын көлөмү азайган сайын ысык зымдын температурасынын жогорулашына алып келет, ошону менен буулануу ылдамдыгы жогорулайт. Бул ошондой эле буулануу ылдамдыгын катуу көзөмөлдөөнү талап кылган пленка жасоо процессинде белгилей кетүү керек болгон көйгөй.
(2) Иштөө принциби жана түзүлүшүнүн формасы жана колдонуу мүнөздөмөсү
Каршылык көрсөтүүчү жылытуучу буулануу булагы, чындыгында, каршылык көрсөтүүчү жылыткыч, ал жылуулук генераторун же буулануу кайыгын түздөн-түз энергия менен колдонуу болуп саналат, ошондуктан ток көп сандагы Джоуль аркылуу ысыйт жана металл пленкасын эритүү үчүн жогорку температурага алып келет, ошондуктан анын буулануусу буулануу булагынын бир түрү болуп саналат.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 23-февралы