يتميز مصدر التبخير بالتسخين المقاومي ببنية بسيطة وسهلة الاستخدام والتصنيع، وهو أكثر أنواع مصادر التبخير استخدامًا. ويُطلق عليه عادةً اسم مولد الحرارة أو قارب التبخير.
تتطلب عملية التسخين استخدام مواد مقاومة عالية، تتميز بخصائص معينة، منها: القدرة على تحمل درجات حرارة عالية، ومقاومة كهربائية عالية، وانخفاض ضغط البخار عند درجات الحرارة المرتفعة، وعدم التفاعل الكيميائي مع مادة الغشاء، وعدم انبعاث الغازات أو التسبب في التلوث. تُختار مواد التسخين المقاومة بشكل أساسي من المعادن المقاومة للحرارة، مثل التنجستن والموليبدينوم والتنتالوم، أو من مواد أخرى، أو من الجرافيت عالي النقاء والقوة، أو من السيراميك الموصل الاصطناعي المصنوع من نتريد البورون، أو من مواد أخرى. في بعض الأحيان، يمكن أيضًا استخدام الحديد والنيكل وسبائك النيكل والكروم والبلاتين كمواد مصدر للتبخير.
تختلف منحنيات العلاقة بين درجة انصهار وضغط بخار المواد الشائعة (مثل التيتانيوم، والموليبدينوم، والكربون، والتنتالوم، والتنغستن، وغيرها) عند استخدام مصادر تبخير التسخين المقاوم المختلفة. فعلى سبيل المثال، يصبح التنغستن هشًا عند تسخينه إلى درجة حرارة التبخر بسبب نواتج التفاعل الحراري. أما الموليبدينوم، فتختلف درجة نقائه، فبعضه يصبح هشًا والبعض الآخر لا. ويتفاعل التنغستن مع بخار الماء لتكوين مركب الأكسجين المتطاير WO3.
لذلك، عند تسخين التنجستن في بخار الماء المتبقي، تتناقص المادة المسخنة باستمرار. وعندما يكون ضغط الغاز المتبقي منخفضًا، لا يكون هناك فقدان كبير للمادة، ولكنه يُسبب تلوثًا خطيرًا للغشاء.
عند استخدام مصادر التسخين بالخيوط، يجب مراعاة ترطيب السلك الساخن لمادة الغشاء. فعلى سبيل المثال، إذا ارتفعت درجة حرارة السلك الساخن بسرعة كبيرة، فلن تذوب مادة الغشاء بالكامل فورًا، ولن يكون ترطيب السلك كافيًا. ونتيجة لذلك، قد يتساقط الغشاء غير المنصهر من سلة السلك. في الوقت نفسه، قد يؤدي الارتفاع السريع جدًا في درجة الحرارة إلى انطلاق الغاز من مادة الغشاء بسرعة، مما ينتج عنه فقاعات أو تناثر، وبالتالي تكوّن قطرات صغيرة تلتصق بالركيزة. لذلك، يجب استخدام مصادر التسخين بالخيوط مع التحكم في درجة الحرارة.
تتمثل العيوب الرئيسية لسلال الأسلاك أو الملفات المخروطية أو الحلزونية في قلة كمية مادة الفيلم الداعم، مما يؤدي إلى ارتفاع درجة حرارة السلك الساخن مع تناقص كمية مادة الفيلم بعد تبخرها، وبالتالي زيادة معدل التبخر. وتُعد هذه مشكلة يجب مراعاتها في عملية تصنيع الأفلام التي تتطلب تحكمًا دقيقًا في معدل التبخر.
(2) مبدأ العمل وشكل الهيكل وخصائص الاستخدام
مصدر تبخير التسخين المقاوم، في الواقع، هو سخان مقاوم يستخدم مولد الحرارة أو وعاء التبخير الذي يتم تنشيطه مباشرة، بحيث يمر التيار عبر عدد كبير من حرارة جول ويحصل على درجة حرارة عالية لصهر مادة الغشاء المعدني، وبالتالي يكون مصدر تبخير من نوع ما.
– نُشر هذا المقال بواسطةمصنع آلات الطلاء بالتفريغقوانغدونغ تشنهوا
تاريخ النشر: 23 فبراير 2024