La struttura della sorgente di evaporazione con riscaldamento a resistenza è semplice, facile da usare e da realizzare, ed è il tipo di sorgente di evaporazione più diffuso. Viene comunemente chiamata generatore di calore o barca di evaporazione.
I requisiti di riscaldamento del materiale resistivo utilizzato sono: alta temperatura, resistività, bassa pressione di vapore ad alta temperatura, nessuna reazione chimica con il materiale della membrana, assenza di degassamento e inquinamento. I materiali per il riscaldamento a resistenza selezionati provengono principalmente da metalli refrattari, come W, Mo, Ta e altri materiali, oppure da ceramiche conduttive sintetiche ad alta purezza e resistenza come grafite o nitruro di boro e altri materiali. Talvolta, è possibile scegliere anche Fe, Ni, leghe Ni-Cr e Pt come materiali di origine per l'evaporazione.
Le diverse sorgenti di evaporazione per riscaldamento a resistenza di materiali comuni (come Ti, Mo, C, Ta, W, ecc.) presentano curve di relazione tra punto di fusione, pressione di vapore e temperatura differenti. Tra queste, il tungsteno diventa fragile quando riscaldato alla temperatura di evaporazione a causa del prodotto di giunzione riscaldante. Il molibdeno, d'altra parte, varia in purezza, con alcuni materiali che diventano fragili e altri no. Il tungsteno reagisce con il vapore acqueo per formare il composto volatile dell'ossigeno WO3.
Pertanto, quando il tungsteno viene riscaldato nel vapore acqueo residuo, il materiale riscaldato si esaurisce continuamente. Quando la pressione del gas residuo è bassa, la perdita di materiale non è elevata, ma si verifica una grave contaminazione della membrana.
L'utilizzo di sorgenti a filamento richiede particolare attenzione alla bagnatura del filo caldo sul materiale della membrana. Ad esempio, un aumento di temperatura del filo caldo troppo rapido può rendere difficile la fusione immediata di tutto il materiale della membrana e la bagnatura del filo caldo non è sufficiente. Di conseguenza, il film non fuso potrebbe fuoriuscire dal cestello. Allo stesso tempo, un aumento di temperatura troppo rapido può causare un rapido rilascio del materiale della membrana nel gas, con conseguente formazione di bolle o schizzi, con conseguente formazione di piccole goccioline che si attaccano al substrato. Pertanto, le sorgenti a filamento devono essere utilizzate con controllo della temperatura.
Lo svantaggio principale dei cestelli metallici, delle bobine coniche o delle bobine a spirale è che la quantità di materiale di supporto del film è troppo ridotta, e questa causa un aumento della temperatura del filo caldo man mano che la quantità di materiale del film diminuisce dopo l'evaporazione, causando un aumento della velocità di evaporazione. Questo è un problema che va tenuto presente anche nel processo di produzione del film, che richiede un controllo rigoroso della velocità di evaporazione.
(2) Il principio di funzionamento e la struttura, la forma e le caratteristiche di utilizzo
La fonte di evaporazione del riscaldamento a resistenza, infatti, è un riscaldatore a resistenza che utilizza un generatore di calore o una barca di evaporazione alimentata direttamente, in modo che la corrente attraverso un gran numero di Joule riscalda e raggiunge temperature elevate per fondere il materiale della pellicola metallica, in modo che l'evaporazione sia una sorta di fonte di evaporazione.
–Questo articolo è pubblicato daproduttore di macchine per rivestimento sotto vuotoGuangdongZhenhua
Data di pubblicazione: 23 febbraio 2024