1. Tecnologia CVD termica
I rivestimenti duri sono principalmente rivestimenti metallo-ceramici (TiN, ecc.), formati dalla reazione del metallo nel rivestimento e dalla gassificazione reattiva. Inizialmente, la tecnologia CVD termica veniva utilizzata per fornire l'energia di attivazione della reazione combinata mediante energia termica ad alta temperatura di 1000 °C. Questa temperatura è adatta solo per la deposizione di TiN e altri rivestimenti duri su utensili in metallo duro. Ad oggi, la deposizione di rivestimenti compositi TiN-Al20 su teste di utensili in metallo duro è ancora una tecnologia importante.
2. Rivestimento ionico a catodo cavo e rivestimento ionico ad arco a filo caldo
Negli anni '80, il rivestimento ionico a catodo cavo e il rivestimento ionico ad arco a filo caldo venivano utilizzati per depositare utensili da taglio rivestiti. Entrambe queste tecnologie di rivestimento ionico sono tecnologie di rivestimento ionico a scarica ad arco, con un tasso di ionizzazione dei metalli fino al 20%~40%.
3. Rivestimento ionico ad arco catodico
L'avvento del rivestimento ionico ad arco catodico ha portato allo sviluppo della tecnologia di deposizione di rivestimenti duri sugli stampi. Il tasso di ionizzazione del rivestimento ionico ad arco catodico è del 60%~90%, consentendo a un gran numero di ioni metallici e ioni del gas di reazione di raggiungere la superficie del pezzo mantenendo un'elevata attività, con conseguente deposizione di reazione e formazione di rivestimenti duri come il TiN. Attualmente, la tecnologia di rivestimento ionico ad arco catodico viene utilizzata principalmente per deporre rivestimenti duri sugli stampi.
La sorgente ad arco catodico è una sorgente di evaporazione allo stato solido senza una piscina di fusione fissa e la posizione della sorgente ad arco può essere arbitrariamente posizionata, migliorando il tasso di utilizzo dello spazio nella sala di rivestimento e aumentando la capacità di carico del forno. Le forme delle sorgenti ad arco catodico includono piccole sorgenti ad arco catodico circolari, sorgenti ad arco colonnare e sorgenti ad arco grande rettangolari piatte. I diversi componenti delle sorgenti ad arco piccolo, delle sorgenti ad arco colonnare e delle sorgenti ad arco grande possono essere disposti separatamente per depositare film multistrato e nanofilm multistrato. Allo stesso tempo, grazie all'elevata velocità di ionizzazione dei metalli del rivestimento ionico ad arco catodico, gli ioni metallici possono assorbire una maggiore quantità di gas di reazione, con conseguente ampia gamma di processi e semplicità operativa per ottenere rivestimenti duri eccellenti. Tuttavia, nella microstruttura dello strato di rivestimento ottenuto mediante rivestimento ionico ad arco catodico sono presenti goccioline grossolane. Negli ultimi anni, sono emerse molte nuove tecnologie per perfezionare la struttura dello strato del film, il che ha migliorato la qualità del film di rivestimento ionico ad arco.
——Questo articolo è stato pubblicato da Guangdong Zhenhua Technology, unproduttore di macchine per rivestimenti ottici.
Data di pubblicazione: 28 aprile 2023