Tómarúmsplasmahreinsibúnaður notar samþætta uppbyggingu, búinn RF jónhreinsunarkerfi, fullkomlega sjálfvirkri stjórnun, þægilegri notkun og viðhaldi.
RF hátíðni rafallinn getur myndað háþéttni plasma, virkjað, etsað og öskuð yfirborð vinnustykkisins, fjarlægt ryk og fitu á áhrifaríkan hátt af yfirborði vörunnar, losað yfirborðsspennu og fengið ýmsar breytingar á yfirborði vinnustykkisins.
Það á við um gúmmí, gler, keramik, málm og aðrar vörur og er notað í ör-rafeindatækni, LCD, LED, LCM, PCB rafrásarborð, hálfleiðaraumbúðir, lækningatæki, lífvísindatilraunir og önnur svið.