Við uppgufunarhúðun eru kjarnamyndun og vöxtur filmulagsins grundvöllur ýmissa jónahúðunartækni.
1. Kjarnamyndun
Intækni til að húða lofttæminguEftir að agnir filmulagsins hafa gufað upp úr uppgufunargjafanum í formi atóma, fljúga þær beint að vinnustykkinu í miklu lofttæmi og mynda filmulagið með kjarnamyndun og vexti á yfirborði vinnustykkisins. Við lofttæmisgufun er orka atóma filmulagsins sem sleppur úr uppgufunargjafanum um 0,2 eV. Þegar samloðunin milli agna filmulagsins er meiri en tengikrafturinn milli atóma filmulagsins og vinnustykkisins myndast eyjakjarni. Eitt atóm filmulagsins helst á yfirborði vinnustykkisins í langan tíma og hreyfist óreglulega, dreifist, ferðast eða lendir í árekstri við önnur atóm til að mynda atómklasa. Fjöldi atóma í atómklasanum nær ákveðnu gagnrýnigildi og stöðugur kjarni myndast, kallaður einsleitur kjarni.
slétt og inniheldur marga galla og þrep, sem veldur mismun á aðsogskrafti mismunandi hluta vinnustykkisins gagnvart geislavirkum atómum. Aðsogsorka yfirborðs gallans er meiri en venjulegs yfirborðs, þannig að það verður virkur miðpunktur, sem stuðlar að kjörkjarnamyndun, sem kallast ólíkkjarnamyndun. Þegar samloðunarkrafturinn er jafn bindingarkraftinum, eða bindingarkrafturinn milli himnuatómanna og vinnustykkisins er meiri en samloðunarkrafturinn milli himnuatómanna, myndast lamellær uppbygging. Í jónhúðunartækni myndast eyjakjarni í flestum tilfellum.
2. Vöxtur
Þegar kjarni filmunnar er myndaður heldur hann áfram að vaxa með því að fanga atómin sem koma inn í hana. Eyjarnar vaxa og sameinast hver annarri til að mynda stærri hálfkúlur og mynda smám saman hálfkúlulaga eyjalag sem dreifist yfir yfirborð vinnustykkisins.
Þegar atómorka himnulagsins er mikil getur það dreifst nægilega á yfirborðinu og slétt samfelld himna getur myndast þegar síðari atómklasar eru litlir. Ef dreifing atóma á yfirborðinu er veik og stærð útfelldra klasa er mikil, þá myndast þeir sem stórir skagakjarnar. Efsta hluti eyjakjarna hefur sterk skuggaáhrif á íhvolfa hlutann, það er „skuggaáhrif“. Útskot yfirborðsins er auðveldara að fanga síðari útfellda atóm og auka vöxt þeirra, sem leiðir til aukinnar íhvolfs á yfirborðinu til að mynda keilulaga eða súlulaga kristalla af nægilega stærð. Holrúm myndast á milli keilulaga kristallanna og yfirborðsgrófleiki eykst. Fínn vefur getur myndast við hátt lofttæmi, og með minnkandi lofttæmi verður örbygging himnunnar þykkari og þykkari.
Birtingartími: 24. maí 2023