Það eru tvær meginaðferðir við jónageislaútfellingu, önnur er kraftmikil blendingur og hin er kyrrstæð blendingur. Sú fyrri vísar til þess að filman er alltaf í fylgd með ákveðinni orku og geislastraumi jónaárásar og filmu í vaxtarferlinu; sú síðari er forsett að setja filmulag sem er minna en nokkurra nanómetra þykkt á yfirborð undirlagsins og síðan er kraftmikil jónaárás framkvæmd, sem hægt er að endurtaka oft og viðhalda vexti filmulagsins.
Jóngeislaorkan sem valin er fyrir jóngeislaaðstoðaða útfellingu þunnfilma er á bilinu 30 eV til 100 keV. Orkusviðið sem valið er fer eftir því hvers konar notkun filman er notuð fyrir. Til dæmis ætti að velja hærri sprengiorku við undirbúning tæringarvarnar, slitþols, skreytingarhúðunar og annarra þunnfilma. Tilraunir sýna að, eins og val á 20 til 40 keV orku fyrir jóngeislaáfallið, mun undirlagsefnið og filman sjálf ekki hafa áhrif á afköst og notkun skemmda. Við undirbúning þunnfilma fyrir ljós- og rafeindatæki ætti að velja jóngeislaaðstoðaða útfellingu með lægri orku, sem ekki aðeins dregur úr ljóssog og kemur í veg fyrir myndun rafvirkra galla, heldur auðveldar einnig myndun stöðugrar uppbyggingar himnunnar. Rannsóknir hafa sýnt að hægt er að fá filmur með framúrskarandi eiginleikum með því að velja jónaorku lægri en 500 eV.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 11. mars 2024