Þegar útfelling himnuatóma hefst hefur jónaáhrif eftirfarandi áhrif á tengiflöt himnu/undirlags.
(1) Eðlisfræðileg blöndun. Vegna orkuríkrar jónainnspýtingar, spúttunar á útfelldum atómum og bakslagssprautunar á yfirborðsatómum og árekstrar, mun það valda því að yfirborðsflatarmál undirlagsþátta og himnuþátta blandast ekki saman. Þessi blöndunaráhrif munu stuðla að myndun „sýndardreifingarlags“ á himnu-/grunnsviðmótinu, þ.e. umskiptalagsins milli himnu-/grunnsviðmótsins, allt að nokkurra míkrómetra þykkt. Jafnvel nokkurra míkrómetra þykkt, þar sem ný fasa geta myndast. Þetta er mjög hagstætt til að bæta viðloðunarstyrk himnu-/grunnsviðmótsins.
(2) Aukin dreifing. Hár gallaþéttni á svæðinu nálægt yfirborðinu og hátt hitastig auka dreifihraðann. Þar sem yfirborðið er punktgall hafa smáar jónir tilhneigingu til að beygja yfirborðið og jónaárás hefur þau áhrif að auka enn frekar yfirborðsbeygjuna og auka gagnkvæma dreifingu útfelldra atóma og undirlagsatóma.
(3) Bætt kjarnamyndunarháttur. Eiginleikar atómsins sem þéttist á yfirborði undirlagsins eru ákvarðaðir af yfirborðsvíxlverkun þess og flutningseiginleikum þess á yfirborðinu. Ef engin sterk víxlverkun er á milli þétta atómsins og yfirborðs undirlagsins, mun atómið dreifast á yfirborðinu þar til það myndar kjarna á orkumikilli stöðu eða rekst á önnur dreifð atóm. Þessi kjarnamyndunarháttur kallast óhvarfgjörn kjarnamyndun. Jafnvel þótt upprunalega tilheyri tilvikinu um óhvarfgjörn kjarnamyndunarháttur, getur jónaárás á yfirborð undirlagsins valdið fleiri göllum, sem eykur kjarnaþéttleikann, sem stuðlar að myndun dreifingar - hvarfgjörns kjarnamyndunarháttar.
(4) Forgangsröðun á lauslega bundnum atómum. Sprautun yfirborðsatóma er ákvörðuð af staðbundnu bindingarástandi og jónaárás á yfirborðið er líklegri til að sprauta út lauslega tengdum atómum. Þessi áhrif eru meira áberandi við myndun dreifingarviðbragðsfleta.
(5) Bætt yfirborðsþekja og aukin framhjáhlaup húðunar. Vegna mikils vinnuþrýstings gassins við jónhúðun verða uppgufuð eða spútruð atóm fyrir árekstri við gasatóm til að auka dreifingu, sem leiðir til góðra eiginleika til að vefja húðina um hana.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 9. des. 2023