Selama pelapisan penguapan, nukleasi dan pertumbuhan lapisan film adalah dasar dari berbagai teknologi pelapisan ion
1. Nukleasi
Inteknologi pelapisan penguapan vakum,setelah partikel lapisan film diuapkan dari sumber penguapan dalam bentuk atom, mereka terbang langsung ke benda kerja dalam vakum tinggi dan membentuk lapisan film dengan nukleasi dan pertumbuhan pada permukaan benda kerja. Selama penguapan vakum, energi atom lapisan film yang lepas dari sumber penguapan sekitar 0,2eV. Ketika kohesi antara partikel lapisan film lebih besar dari gaya ikatan antara atom lapisan film dan benda kerja, membentuk inti pulau. Sebuah atom lapisan film tunggal tetap berada di permukaan benda kerja selama durasi waktu melakukan gerakan tidak teratur, difusi, migrasi, atau tabrakan dengan atom lain untuk membentuk gugus atom Jumlah atom dalam gugus atom mencapai nilai kritis tertentu, inti yang stabil terbentuk, disebut inti berbentuk homogen.
halus, dan mengandung banyak cacat dan langkah, yang menyebabkan perbedaan gaya adsorpsi berbagai bagian benda kerja terhadap atom radioaktif. Energi adsorpsi permukaan cacat lebih besar daripada permukaan normal, sehingga menjadi pusat aktif, yang kondusif untuk nukleasi preferensial, yang disebut nukleasi heterogen. Ketika gaya kohesif sama dengan gaya ikat, atau gaya ikat antara atom membran dan benda kerja lebih besar daripada gaya kohesif antara atom membran, struktur lamelar terbentuk. Dalam teknologi pelapisan ion, inti pulau terbentuk dalam banyak kasus.
2. Pertumbuhan
Setelah inti film terbentuk, ia terus tumbuh dengan menjebak atom-atom yang datang. Pulau-pulau tersebut tumbuh dan bergabung satu sama lain untuk membentuk belahan yang lebih besar, secara bertahap membentuk lapisan pulau setengah bola yang menyebar di permukaan benda kerja.
Ketika energi atom lapisan film tinggi, ia dapat berdifusi secara memadai pada permukaan dan film kontinu yang halus dapat terbentuk ketika gugus atom yang masuk berikutnya berukuran kecil. Jika difusi atom pada permukaan lemah dan ukuran gugus yang diendapkan besar, mereka ada sebagai inti semenanjung yang besar. Bagian atas inti pulau memiliki efek bayangan yang kuat pada bagian cekung, yaitu "efek bayangan". Proyeksi permukaan lebih kondusif untuk menangkap atom yang diendapkan berikutnya dan pertumbuhan preferensial, menghasilkan peningkatan derajat cekung pada permukaan untuk membentuk kristal kerucut atau kolom dengan ukuran yang cukup. Rongga tembus terbentuk di antara kristal kerucut dan nilai kekasaran permukaan meningkat. Jaringan halus dapat diperoleh pada vakum tinggi, dengan penurunan derajat vakum, struktur mikro membran menjadi semakin tebal.
Waktu posting: 24-Mei-2023