Երբ սկսվում է թաղանթային ատոմների նստեցումը, իոնային ռմբակոծությունը թաղանթ/ենթաշերտ միջերեսի վրա ունենում է հետևյալ հետևանքները։
(1) Ֆիզիկական խառնում։ Բարձր էներգիայի իոնների ներարկման, նստեցված ատոմների փոշիացման և մակերևութային ատոմների հետադարձ ներարկման, ինչպես նաև կասկադային բախման երևույթի պատճառով, հիմքի տարրերի և թաղանթային տարրերի թաղանթ/հիմք միջերեսի մոտակա մակերեսը կառաջանա ոչ դիֆուզիոն խառնման դեպքում, այս խառնման էֆեկտը կնպաստի թաղանթ/հիմք միջերեսի «կեղծ-դիֆուզիոն շերտի» ձևավորմանը, այսինքն՝ թաղանթ/հիմք միջերեսի միջև անցումային շերտի, մինչև մի քանի միկրոն հաստությամբ։ Մի քանի միկրոմետր հաստությամբ, որի դեպքում նույնիսկ կարող են ի հայտ գալ նոր փուլեր։ Սա շատ նպաստավոր է թաղանթ/հիմք միջերեսի կպչունության ամրությունը բարելավելու համար։
(2) Բարձրացված դիֆուզիա։ Մակերեսին մոտ գտնվող տարածքում արատների բարձր կոնցենտրացիան և բարձր ջերմաստիճանը մեծացնում են դիֆուզիայի արագությունը։ Քանի որ մակերեսը կետային արատ է, փոքր իոնները հակված են շեղելու մակերեսը, և իոնային ռմբակոծությունը հանգեցնում է մակերեսի շեղման և նստվածքային ու ենթաշերտային ատոմների փոխադարձ դիֆուզիայի հետագա ուժեղացմանը։
(3) Բարելավված միջուկագոյացման ռեժիմ։ Հիմքի մակերեսին խտացված ատոմի հատկությունները որոշվում են նրա մակերեսային փոխազդեցությամբ և մակերեսի վրա նրա միգրացիոն հատկություններով։ Եթե խտացված ատոմի և հիմքի մակերեսի միջև ուժեղ փոխազդեցություն չկա, ատոմը կդիֆուզի մակերեսի վրա մինչև բարձր էներգիայի դիրքում միջուկագոյացման կամ այլ դիֆուզոր ատոմների հետ բախման։ Միջուկագոյացման այս ռեժիմը կոչվում է ոչ ռեակտիվ միջուկագոյացում։ Նույնիսկ եթե բնօրինակը պատկանում է ոչ ռեակտիվ միջուկագոյացման ռեժիմի դեպքին, հիմքի մակերեսի իոնային ռմբակոծությունը կարող է առաջացնել ավելի շատ արատներ, մեծացնելով միջուկագոյացման խտությունը, ինչը ավելի է նպաստում դիֆուզիոն՝ ռեակտիվ միջուկագոյացման ռեժիմի ձևավորմանը։
(4) Թույլ կապված ատոմների նախընտրելի հեռացում: Մակերևութային ատոմների փոշիացումը որոշվում է տեղային կապի վիճակով, և մակերեսի իոնային ռմբակոծությունն ավելի հավանական է, որ փոշիացնի թույլ կապված ատոմները: Այս ազդեցությունն ավելի ցայտուն է դիֆուզիոն-ռեակտիվ միջերեսների առաջացման դեպքում:
(5) Մակերեսի ծածկույթի բարելավում և ծածկույթի շրջանցման բարելավում: Իոնային ծածկույթի բարձր աշխատանքային գազի ճնշման պատճառով գոլորշիացված կամ փոշիացված ատոմները ենթարկվում են գազի ատոմների հետ բախման՝ ցրումը ուժեղացնելու համար, ինչը հանգեցնում է ծածկույթի լավ փաթաթման հատկությունների:
- Այս հոդվածը հրապարակվել էվակուումային ծածկույթների մեքենայի արտադրողԳուանդուն Չժենհուա
Հրապարակման ժամանակը. Դեկտեմբերի 09-2023