1, Fémvegyületek képződése a célfelületen
Hol képződik a vegyület egy fém célfelületből történő vegyületképződési folyamat során reaktív porlasztási eljárással? Mivel a reaktív gázrészecskék és a célfelület atomjai közötti kémiai reakció vegyületatomokat hoz létre, ami általában exoterm, a reakcióhőnek ki kell tudnia vezetnie, különben a kémiai reakció nem folytatódhat. Vákuum körülmények között a gázok közötti hőátadás nem lehetséges, ezért a kémiai reakciónak szilárd felületen kell végbemennie. A reakciós porlasztás vegyületeket hoz létre a célfelületeken, az aljzatfelületeken és más szerkezeti felületeken. A cél a vegyületek létrehozása az aljzatfelületen, a vegyületek létrehozása más szerkezeti felületeken erőforrás-pazarlás, és a vegyületek létrehozása a célfelületen vegyületatomok forrásaként indul, és gátat szab a további vegyületatomok folyamatos előállításának.
2. A célpontmérgezés hatástényezői
A céltárgy mérgeződését befolyásoló fő tényező a reakciógáz és a porlasztógáz aránya. Túl sok reakciógáz céltárgy mérgezéshez vezet. A reaktív porlasztási folyamat a céltárgy felületén megy végbe, a porlasztási csatorna területe úgy tűnik, hogy be van fedve a reakcióvegyülettel, vagy a reakcióvegyület leválódik, és újra szabaddá válik a fémfelületen. Ha a vegyület képződésének sebessége nagyobb, mint a vegyület leválásának sebessége, a vegyület lefedettségi területe megnő. Egy bizonyos teljesítménynél a vegyület képződésében részt vevő reakciógáz mennyisége és a vegyület képződésének sebessége is megnő. Ha a reakciógáz mennyisége túlzottan megnő, a vegyület lefedettségi területe megnő. Ha a reakciógáz áramlási sebességét nem lehet időben beállítani, a vegyület lefedettségi területének növekedése nem csökken, és a porlasztási csatorna tovább be lesz fedve a vegyülettel. Amikor a porlasztási céltárgyat teljesen befedi a vegyület, a céltárgy teljesen mérgezett.
3. Célpontmérgezés jelensége
(1) pozitív ionok felhalmozódása: amikor a céltárgyat mérgezik, egy szigetelő filmréteg képződik a céltárgy felületén. A pozitív ionok a szigetelőréteg elzáródása miatt elérik a katód céltárgy felületét. Nem jutnak be közvetlenül a katód céltárgy felületére, hanem felhalmozódnak a céltárgy felületén, könnyen létrehozva hideg mezőt az ívkisüléshez – ívképződéshez –, így a katód porlasztása nem folytatódhat.
(2) anód eltűnése: amikor a céltárgyat mérgezi, a földelt vákuumkamra falán szigetelőréteg rakódik le, így az anódra jutó elektronok nem tudnak bejutni az anódba, és kialakul az anód eltűnésének jelensége.
4. A célpontmérgezés fizikai magyarázata
(1) Általánosságban elmondható, hogy a fémvegyületek másodlagos elektronemissziós együtthatója magasabb, mint a fémeké. A céltárgy mérgezése után a céltárgy felülete teljes egészében fémvegyületekből áll, és az ionokkal való bombázás után a felszabaduló másodlagos elektronok száma megnő, ami javítja a tér vezetőképességét és csökkenti a plazma impedanciáját, ami alacsonyabb porlasztási feszültséget eredményez. Ez csökkenti a porlasztási sebességet. A magnetronos porlasztás porlasztási feszültsége általában 400V-600V között van, és céltárgy mérgezése esetén a porlasztási feszültség jelentősen csökken.
(2) A fémcéltárgy és a vegyület eredetileg eltérő porlasztási sebességgel rendelkezik. Általában a fém porlasztási együtthatója magasabb, mint a vegyület porlasztási együtthatója, így a porlasztási sebesség alacsony a céltárgy mérgezése után.
(3) A reaktív porlasztógáz porlasztási hatékonysága eredetileg alacsonyabb, mint az inert gáz porlasztási hatékonysága, így a teljes porlasztási sebesség csökken a reaktív gáz arányának növekedésével.
5, Célzott mérgezés elleni megoldások
(1) Közepes frekvenciájú vagy rádiófrekvenciás tápegységet kell alkalmazni.
(2) A reakciógáz beáramlásának zárt hurkú szabályozását alkalmazza.
(3) Kettős célok elfogadása
(4) A bevonási mód változásának szabályozása: A bevonás előtt a célmérgezés hiszterézishatás-görbéjét összegyűjtik, hogy a beszívott levegő áramlását a célmérgezés előidézése előtt szabályozzák, biztosítva, hogy a folyamat mindig a módban legyen, mielőtt a lerakódási sebesség meredeken csökkenne.
–Ezt a cikket a Guangdong Zhenhua Technology, egy vákuumbevonó berendezéseket gyártó cég jelentette meg.
Közzététel ideje: 2022. november 7.