1. A párolgási sebesség befolyásolja a párologtatott bevonat tulajdonságait
A párolgási sebesség nagy hatással van a lerakódott filmre. Mivel az alacsony lerakódási sebességgel kialakított bevonatszerkezet laza és könnyen előállítható rajta nagy részecskék, biztonságos magasabb párolgási sebességet választani a bevonatszerkezet tömörségének biztosítása érdekében. Amikor a vákuumkamrában lévő maradékgáz nyomása állandó, az aljzat bombázási sebessége is állandó értékű. Ezért a magasabb lerakódási sebesség kiválasztása után a lerakódott filmben lévő maradékgáz mennyisége csökken, ezáltal csökken a kémiai reakció a maradékgáz molekulái és az elpárologtatott filmrészecskék között. Így a lerakódott film tisztasága javítható. Meg kell jegyezni, hogy ha a lerakódási sebesség túl gyors, az növelheti a film belső feszültségét, növelheti a film hibáit, és akár a film repedéséhez is vezethet. Különösen a reaktív párologtatásos bevonatolás folyamatában, annak érdekében, hogy a reakciógáz teljes mértékben reagáljon a párologtató filmanyag részecskéivel, alacsonyabb lerakódási sebességet lehet választani. Természetesen a különböző anyagok eltérő párolgási sebességet választanak. Gyakorlati példaként – a fényvisszaverő fólia lerakódása. Ha a fólia vastagsága 600 × 10⁻⁸ cm és a párolgási idő 3 másodperc, a fényvisszaverő képesség 93%. Ha azonban a párolgási sebességet ugyanilyen vastagság mellett lelassítjuk, a fólia lerakódása 10 percet vesz igénybe. Ekkor a fólia vastagsága változatlan marad. A fényvisszaverő képesség azonban 68%-ra csökken.
2. Az aljzat hőmérséklete befolyásolja a párolgási bevonatot
Az aljzat hőmérséklete nagy hatással van a párolgásos bevonatra. A magas aljzathőmérsékleten az aljzat felületén adszorbeált maradék gázmolekulák könnyen eltávolíthatók. Különösen a vízgőzmolekulák eltávolítása fontos. Ezenkívül magasabb hőmérsékleten nemcsak a fizikai adszorpcióból kémiai adszorpcióba való átalakulás elősegítése egyszerű, ezáltal növelve a részecskék közötti kötőerőt. Ezenkívül csökkentheti a gőzmolekulák átkristályosodási hőmérséklete és az aljzat hőmérséklete közötti különbséget is, ezáltal csökkentve vagy kiküszöbölve a film alapú határfelületen fellépő belső feszültséget. Ezenkívül, mivel az aljzat hőmérséklete összefügg a film kristályos állapotával, alacsony aljzathőmérséklet vagy fűtés nélkül gyakran könnyű amorf vagy mikrokristályos bevonatokat képezni. Ezzel szemben, ha a hőmérséklet magas, könnyen képződik kristályos bevonat. Az aljzat hőmérsékletének növelése szintén elősegíti a bevonat mechanikai tulajdonságainak javítását. Természetesen az aljzat hőmérséklete nem lehet túl magas, hogy megakadályozza a bevonat párolgását.
3. A vákuumkamrában maradó gáznyomás hatással lesz a film tulajdonságaira
A vákuumkamrában lévő maradékgáz nyomása nagyban befolyásolja a membrán teljesítményét. A túl nagy nyomású maradékgáz-molekulák nemcsak könnyen ütköznek a párolgó részecskékkel, hanem csökkentik az aljzaton lévő személyek mozgási energiáját és befolyásolják a film tapadását is. Ezenkívül a túl magas maradékgáz-nyomás komolyan befolyásolja a film tisztaságát és csökkenti a bevonat teljesítményét.
4. A párolgási hőmérséklet hatása a párolgási bevonatra
A párolgási hőmérséklet hatását a membrán teljesítményére a párolgási sebesség hőmérséklettel való változása mutatja. Magas párolgási hőmérséklet esetén a párolgáshő csökken. Ha a membránanyag a párolgási hőmérséklet felett párolog el, már egy kis hőmérsékletváltozás is hirtelen változást okozhat a membránanyag párolgási sebességében. Ezért nagyon fontos a párolgási hőmérséklet pontos szabályozása a film lerakódása során, hogy elkerüljük a nagy hőmérséklet-gradienst, amikor a párolgási forrást melegítjük. A könnyen szublimálható filmanyag esetében nagyon fontos magát az anyagot is kiválasztani a párolgás és egyéb intézkedések fűtőanyagaként.
5. Az aljzat és a bevonókamra tisztasági állapota befolyásolja a bevonat teljesítményét
Az aljzat és a bevonókamra tisztaságának a bevonat teljesítményére gyakorolt hatása nem hagyható figyelmen kívül. Ez nemcsak a lerakódott film tisztaságát befolyásolja komolyan, hanem a film tapadását is csökkenti. Ezért az aljzat tisztítása, a vákuumos bevonókamra és a kapcsolódó alkatrészek (például az aljzatkeret) tisztítása, valamint a felület gáztalanítása mind elengedhetetlen folyamatok a vákuumos bevonási folyamatban.
Közzététel ideje: 2023. február 28.