Amikor a membránatomok lerakódása megkezdődik, az ionbombázás a következő hatásokkal jár a membrán/hordozó határfelületen.
(1) Fizikai keverés. A nagy energiájú ionbefecskendezés, a lerakódott atomok porlasztása, a felületi atomok visszarúgása és a kaszkád ütközési jelenség miatt a szubsztrát elemek és a membránelemek membrán/bázis határfelületének felületközeli területén nem diffúziós keveredés alakul ki. Ez a keverési hatás elősegíti a membrán/bázis határfelület „pszeudo-diffúziós rétegének”, azaz a membrán/bázis határfelület közötti átmeneti rétegnek a kialakulását, akár néhány mikron vastagságig. Néhány mikrométer vastagságban akár új fázisok is megjelenhetnek. Ez nagyon kedvező a membrán/bázis határfelület tapadási szilárdságának javítása szempontjából.
(2) Fokozott diffúzió. A felszínhez közeli régióban a magas hibakoncentráció és a magas hőmérséklet növeli a diffúziós sebességet. Mivel a felület pontszerű hiba, a kis ionok hajlamosak eltéríteni a felületet, és az ionbombázás tovább fokozza a felület eltérülését és fokozza a lerakódott és a szubsztrát atomok kölcsönös diffúzióját.
(3) Továbbfejlesztett nukleációs mód. Az aljzat felületén kondenzálódott atom tulajdonságait a felületi kölcsönhatása és a felületen történő migrációs tulajdonságai határozzák meg. Ha nincs erős kölcsönhatás a kondenzált atom és az aljzat felülete között, az atom diffundál a felületen, amíg nagy energiájú pozícióban nem nukleál, vagy más diffundáló atomokkal ütközik. Ezt a nukleációs módot nem reaktív nukleációs módnak nevezik. Még ha az eredeti nem reaktív nukleációs mód esetébe is tartozik, az aljzat felületének ionbombázása több hibát hozhat létre, növelve a nukleációs sűrűséget, ami jobban kedvez a diffúziós-reaktív nukleációs mód kialakulásának.
(4) A lazán kötött atomok eltávolítása előnyös módon. A felületi atomok porlasztását a lokális kötési állapot határozza meg, és a felület ionbombázása nagyobb valószínűséggel porlasztja ki a lazán kötött atomokat. Ez a hatás a diffúziós reaktív határfelületek kialakulásában hangsúlyosabb.
(5) A felületi lefedettség javítása és a bevonat megkerülésének fokozása. Az ionbevonatolás magas üzemi gáznyomása miatt az elpárologtatott vagy porlasztott atomok ütköznek a gázatomokkal, ami fokozza a szórást, és jó bevonatkörnyezeti tulajdonságokat eredményez.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2023. dec. 9.